Planarisierung des Inter-Metall-Isolators bei integrierten Galliumarsenid-Schaltungen: Diplomarbeit am FB-ET
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Etzel, Hubert (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: 1988
Beschreibung:Landshut, FH, Dipl.-Arb., Ref.: Prof. Helmuth Gesch
Beschreibung:60 S. Ill. ; graph. Darst.

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