APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Jaeger, R. C. (1987). Introduction to microelectronic fabrication (1. print.). Addison-Wesley.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Jaeger, Richard C. Introduction to Microelectronic Fabrication. 1. print. Reading, Mass. [u.a.]: Addison-Wesley, 1987.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Jaeger, Richard C. Introduction to Microelectronic Fabrication. 1. print. Addison-Wesley, 1987.