Proceedings of the ... International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams: 34
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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: New York, NY American Inst. of Physics 1990
Beschreibung:In: Journal of vacuum science and technology / 2 / B. Vol. 8, No. 5, 1990
Beschreibung:S. 1177 - 2138 Ill., graph. Darst

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