Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
[Freiburg]
Fraunhofer-Inst. Werkstoffmechanik [u.a.]
2005
|
| Schriftenreihe: | Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik
2005,9 |
| Beschreibung: | 35 Bl. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000zcb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV022107629 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20130430 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 051202s2005 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)179952546 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV022107629 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-706 |a DE-634 | ||
| 082 | 0 | |a 621.381520287 |2 22/ger | |
| 100 | 1 | |a Bagdahn, Jörg |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren |c Jörg Bagdahn ; Maik Wiemer |
| 264 | 1 | |a [Freiburg] |b Fraunhofer-Inst. Werkstoffmechanik [u.a.] |c 2005 | |
| 300 | |a 35 Bl. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik |v 2005,9 | |
| 700 | 1 | |a Wiemer, Maik |d 1963- |e Verfasser |0 (DE-588)122278720 |4 aut | |
| 830 | 0 | |a Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik |v 2005,9 |w (DE-604)BV021863845 |9 2005,9 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015322506 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804136082034393088 |
|---|---|
| adam_txt | |
| any_adam_object | |
| any_adam_object_boolean | |
| author | Bagdahn, Jörg Wiemer, Maik 1963- |
| author_GND | (DE-588)122278720 |
| author_facet | Bagdahn, Jörg Wiemer, Maik 1963- |
| author_role | aut aut |
| author_sort | Bagdahn, Jörg |
| author_variant | j b jb m w mw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV022107629 |
| ctrlnum | (OCoLC)179952546 (DE-599)BVBBV022107629 |
| dewey-full | 621.381520287 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 621 - Applied physics |
| dewey-raw | 621.381520287 |
| dewey-search | 621.381520287 |
| dewey-sort | 3621.381520287 |
| dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| discipline_str_mv | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01052nam a2200289zcb4500</leader><controlfield tag="001">BV022107629</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20130430 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">051202s2005 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)179952546</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV022107629</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621.381520287</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bagdahn, Jörg</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren</subfield><subfield code="c">Jörg Bagdahn ; Maik Wiemer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">[Freiburg]</subfield><subfield code="b">Fraunhofer-Inst. Werkstoffmechanik [u.a.]</subfield><subfield code="c">2005</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">35 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik</subfield><subfield code="v">2005,9</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wiemer, Maik</subfield><subfield code="d">1963-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)122278720</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik</subfield><subfield code="v">2005,9</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV021863845</subfield><subfield code="9">2005,9</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015322506</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV022107629 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-02T16:15:36Z |
| indexdate | 2024-07-09T20:50:44Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015322506 |
| oclc_num | 179952546 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-706 DE-634 |
| owner_facet | DE-706 DE-634 |
| physical | 35 Bl. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2005 |
| publishDateSearch | 2005 |
| publishDateSort | 2005 |
| publisher | Fraunhofer-Inst. Werkstoffmechanik [u.a.] |
| record_format | marc |
| series | Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik |
| series2 | Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik |
| spelling | Bagdahn, Jörg Verfasser aut Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren Jörg Bagdahn ; Maik Wiemer [Freiburg] Fraunhofer-Inst. Werkstoffmechanik [u.a.] 2005 35 Bl. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik 2005,9 Wiemer, Maik 1963- Verfasser (DE-588)122278720 aut Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik 2005,9 (DE-604)BV021863845 2005,9 |
| spellingShingle | Bagdahn, Jörg Wiemer, Maik 1963- Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik |
| title | Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren |
| title_auth | Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren |
| title_exact_search | Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren |
| title_exact_search_txtP | Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren |
| title_full | Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren Jörg Bagdahn ; Maik Wiemer |
| title_fullStr | Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren Jörg Bagdahn ; Maik Wiemer |
| title_full_unstemmed | Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren Jörg Bagdahn ; Maik Wiemer |
| title_short | Sicherung der Ausbeute und Zuverlässigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer Sensoren |
| title_sort | sicherung der ausbeute und zuverlassigkeit industriell gefertigter direkt wafergebondeter mikromechanischer sensoren |
| volume_link | (DE-604)BV021863845 |
| work_keys_str_mv | AT bagdahnjorg sicherungderausbeuteundzuverlassigkeitindustriellgefertigterdirektwafergebondetermikromechanischersensoren AT wiemermaik sicherungderausbeuteundzuverlassigkeitindustriellgefertigterdirektwafergebondetermikromechanischersensoren |