Verfügbarkeit: Elektrostatik

Elektrostatik: Ursachen, Wirkungen, Schutzmaßnahmen, Messungen, Prüfungen, Normung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Berndt, Hartmut (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Berlin [u.a.] VDE-Verl. 2005
Ausgabe:	2. Aufl.
Schriftenreihe:	VDE-Schriftenreihe Normen verständlich 71
Schlagworte:	DIN-VDE-Norm Elektronisches Bauelement Elektrostatik Elektronische Baugruppe Prüftechnik Elektrostatische Aufladung Elektrisches Bauelement Schutz > Elektrotechnik Elektrostatische Entladung Sicherheitsmaßnahme Deutschland Norm Richtlinie
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:	Literaturverz. S. 347 - 352
Beschreibung:	363 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	3800728699 9783800728695

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adam_text	VDE-SCHRIFTENREIHE NORMEN VERSTAENDLICH ELEKTROSTATIK URSACHEN, WIRKUNGEN, SCHUTZMASSNAHMEN, MESSUNGEN, PRUEFUNGEN, NORMUNG DIPL.-ING. HARTMUT BERNDT * 2. AUFLAGE 2005 I: VDE VERLAG GMBH * BERLIN * OFFENBACH 71 INHALT 0 EINLEITUNG - VORBEMERKUNGEN 11 VORWORT ZUR 2. AUFLAGE 15 1 GRUNDBEGRIFFE 17 2 PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN 27 2.1 GRUNDGROESSEN DES ELEKTROSTATISCHEN FELDS 27 2.1.1 ELEKTRISCHE LADUNG SS 27 2.1.2 ELEKTRISCHER STROM / 31 2.1.3 STROMDICHTE S 31 2.1.4 POTENTIAL F 33 2.1.5 ELEKTRISCHE SPANNUNG U 34 2.1.6 ELEKTRISCHER WIDERSTAND R 35 2.1.7 ELEKTRISCHE ENERGIE W 36 2.1.8 ELEKTRISCHE LEISTUNG P 37 2.2 ELEKTROSTATISCHES FELD 38 2.2.1 LEITER IM ELEKTROSTATISCHEN FELD 40 2.2.2 VERSCHIEBUNGSFLUSSDICHTE F 41 2.3 BEZIEHUNG ZWISCHEN KAPAZITAET, LADUNG, SPANNUNG (KONDENSATOR) 44 2.4 ENERGIE IM ELEKTROSTATISCHEN FELD 47 2.5 BEWEGUNG FREIER LADUNGEN IM ELEKTROSTATISCHEN FELD 48 2.6 REIBUNGSELEKTRIZITAET UND KONTAKTSPANNUNG 48 2.6.1 REIBUNGSELEKTRIZITAET 49 2.6.2 KONTAKTSPANNUNG 49 3 ENTSTEHEN VON ELEKTROSTATISCHEN AUFLADUNGEN 53 3.1 ALLGEMEINE ENTSTEHUNGSMECHANISMEN 53 3.2 ALLGEMEINE ENTLADUNGSMECHANISMEN 60 3.2.1 TYPISCHE PERSONENENTLADUNG 60 3.2.2 ALLGEMEINE ENTLADUNGSARTEN 62 4 EINFLUSSMECHANISMEN ELEKTROSTATISCHER ENTLADUNGSVORGAENGE AUF ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE 67 4.1 HUMAN BODY MODEL - KOERPER-ENTLADUNGSMODELL 68 4.2 CHARGED DEVICE MODEL - MODELL VOM GELADENEN OBJEKT 73 4.3 MACHINE MODEL (MM) 81 4.4 FIELD INDUCED MODEL - ENTSTEHUNG ELEKTROSTATISCHER LADUNGEN DURCH EIN ELEKTRISCHES FELD 84 4.5 WEITERE ENTLADUNGSMODELLE - EINZELBAUELEMENTE 85 4.6 WEITERE ENTLADUNGSMODELLE - GERAETE 87 4.7 ZUSAMMENFASSUNG 89 5 WIRKUNGEN VON ESD AUF ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE 91 5.1 AUFBAU UND WIRKUNGSWEISE ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE 91 5.1.1 HALBLEITER ALLGEMEIN 91 5.1.2 LEITER 92 5.1.3 HALBLEITER 92 5.1.4 ISOLATOR 93 5.1.5 HALBLEITER - AUFBAU UND WIRKUNGSWEISE 93 5.1.6 PN-UEBERGANG -DIODE 95 5.1.7 NPN- BZW. PNP-UEBERGANG - TRANSISTOR 96 5.1.8 FELDEFFEKTTRANSISTOR 97 5.2 ENTLADUNG AN EINEM MOS-TRANSISTOR 100 5.2.1 PRAKTISCHE MOS-ANORDNUNGEN 100 5.2.2 ENTLADUNG AN EINEM MOS-TRANSISTOR 101 5.2.3 ENTLADUNG AN EINEM LEISTUNGS-MOS-TRANSISTOR 102 5.3 LATENTE FEHLER ODER DEGRADATION 104 5.4 WIRKUNGEN VON ESD AUF BIPOLARE BAUELEMENTE 107 5.4.1 WIM.SC/I-BE//-MODELL ZUM BESTIMMEN VON ESD-FEHLERN 107 5.4.2 BERECHNEN DER ESD-SPANNUNGSSCHWELLE VON PN-UEBERGAENGEN.... 108 6 FEHLERMODELLE ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE 113 6.1 THERMISCHER DURCHBRUCH 114 6.2 DIELEKTRISCHER DURCHBRUCH 115 6.3 AUFSCHMELZEN DER METALLISIERUNG 116 7 SCHUTZMASSNAHMEN 119 7.1. INTEGRIERTE SCHUTZSCHALTUNGEN 119 7.1.1 WIDERSTANDSNETZWERK 120 7.1.2 DIODENKOMBINATION 121 7.1.3 WIDERSTANDS-DIODEN-KOMBINATION 121 7.8 8 9 9.1 9.2 7.1.4 FELDPLATTENELEKTRODE 122 7.1.5 PUNCH-THROUGH-TRANSISTOR MIT DUENNEM GATE-OXID 123 7.1.6 PUNCH-THROUGH-TRANSISTOR MIT DICKEM GATE-OXID (DICKER OXID-ANREICHERUNGSSPERRSCHICHT-TRANSISTOR) 125 7.1.7 PRAKTISCHE SCHUTZSCHALTUNGSANORDNUNGEN 125 7.2 TECHNOLOGISCHE SCHUTZMASSNAHMEN 126 7.3 ORGANISATORISCHE SCHUTZMASSNAHMEN 128 7.3.1 GESTALTEN DER ARBEITSPLAETZE, ARBEITSRAEUME UND ARBEITSBEREICHE . .. 130 7.3.2 ANFORDERUNGEN AN EINEN ABLEITFAEHIGEN ARBEITSTISCH 133 7.3.3 ANFORDERUNGEN AN EINEN ABLEITFAEHIGEN ARBEITSSTUHL 134 7.3.4 ANFORDERUNGEN AN DEN ABLEITFAEHIGEN FUSSBODEN 135 7.3.5 ANFORDERUNGEN AN DIE HANDGELENKERDUNG 140 7.3.6 ANFORDERUNGEN AN DIE ERDUNGSEINRICHTUNG 141 7.3.7 ANFORDERUNGEN AN DIE PERSONENAUSRUESTUNG - ESD-GERECHTE BEKLEIDUNG UND ABLEITFAEHIGE SCHUHE 143 7.3.8 ANFORDERUNGEN AN LAGEREINRICHTUNGEN 145 7.3.9 ANFORDERUNGEN AN DIE ABGRENZUNG UND KENNZEICHNUNG 146 7.3.10 KONTROLLE DER LUFTFEUCHTIGKEIT 148 7.3.11 IONISATION 148 7.4 ESD-GERECHTE AUSFUEHRUNG VON MASCHINEN UND ANLAGEN 154 7.5 VERHALTEN DER ARBEITSKRAEFTE 156 7.6 LEITFAEHIGE UND ANTISTATISCHE VERPACKUNGEN 158 7.6.1 ALLGEMEINES 158 7.6.2 FOLIEN 159 7.6.2.1 ANFORDERUNGEN UND EIGENSCHAFTEN VON FOLIEN 159 7.6.2.2 LOW CHARGING ODER NICHT AUFLADBARE FOLIEN 161 7.6.2.3 LEITFAEHIGE FOLIEN 161 7.6.2.4 ELEKTROSTATISCH ABSCHIRMENDE FOLIEN 161 7.6.3 VERSANDSTANGEN, TRAYS, REELS 163 7.6.4 WIRKUNG VON ANTISTATIKA 164 7.7 AUFGABEN UND KONTROLLFUNKTIONEN EINES ESD-BEAUFTRAGTEN - UEBERPRUEFUNGSRICHTLINIEN 166 7.8 ESD-KONTROLLPROGRAMM 170 8 TECHNISCHE MERKBLAETTER FUER DEN ESD-KOMPLEX 173 9 MESSVERFAHREN 193 9.1 MESSEN DER ELEKTROSTATISCHEN LADUNG 193 9.2 MESSEN DER ELEKTRISCHEN FELDSTAERKE IN EINEM ELEKTROSTATISCHEN FELD 197 9.3 MESSEN VON OBERFLAECHEN- UND ABLEITWIDERSTAENDEN 204 9.3.1 ANWENDUNGSHINWEISE FUER DEN EINSATZ DER IM FOLGENDEN BESCHRIEBENEN MESSVERFAHREN UND MESSPRINZIPIEN 207 9.3.2 MESSEN VON OBERFLAECHENWIDERSTAENDEN 209 9.3.3 MESSEN VON ABLEITWIDERSTAENDEN 216 9.3.4 MESSEN VON VOLUMENWIDERSTAENDEN 222 9.3.5 SONSTIGE MESSVERFAHREN 225 9.4 PRAKTISCHE MESSUNGEN UND MESSVORSCHRIFTEN FUER ABLEIT- UND OBERFLAECHENWIDERSTAENDE ZUM ERMITTELN DER WIRKSAMKEIT DER ESD-SCHUTZMASSNAHMEN 227 9.4.1 ESD-GERECHTE FUSSBOEDEN 228 9.4.1.1 ABLEITWIDERSTAND VON FUSSBOEDEN 228 9.4.1.2 OBERFLAECHENWIDERSTAND VON FUSSBOEDEN UND MATERIALIEN FUER FUSSBOEDEN 230 9.4.2 ESD-GERECHTE ARBEITSOBERFLAECHEN 231 9.4.2.1 ABLEITWIDERSTAND VON ARBEITSOBERFLAECHEN 231 9.4.2.2 OBERFLAECHENWIDERSTAND VON ARBEITSOBERFLAECHEN UND MATERIALIEN FUER ARBEITSOBERFLAECHEN 233 9.4.2.3 REGALOBERFLAECHEN 233 9.4.3 PRUEFEN VON TRANSPORTWAGEN 235 9.4.4 PRUEFEN VON ESD-GERECHTEN STUEHLEN 235 9.4.5 PRUEFEN ESD-GERECHTER BEKLEIDUNG 237 9.4.5.1 SCHUHWERK 237 9.4.5.2 ARBEITSBEKLEIDUNG 239 9.4.5.3 HANDSCHUHE UND FINGERLINGE 242 9.4.6 WERKZEUGE 243 9.4.7 VERPACKUNGSMATERIALIEN 244 9.4.7.1 ESD-GERECHTE FOLIEN 245 9.4.7.2 WELLPAPPE, LEITFAEHIG BESCHICHTET 245 9.4.7.3 IC-VERSANDSTANGEN, ROLLEN, GURTE USW 245 9.5 MESSEN DER AUFLADBARKEIT VON MATERIALIEN 246 9.5.1 AUFLADBARKEIT VON BODENBELAEGEN 247 9.5.2 AUFLADUNG VON PERSONEN BEIM GEHEN UEBER EINEN FUSSBODEN 248 9.5.3 AUFLADBARKEIT VON ARBEITSPLATZOBERFLAECHEN 249 9.6 BESTIMMEN DER MATERIALEIGENSCHAFTEN VON VERPACKUNGSMATERIALIEN 251 9.6.1 OBERFLAECHENWIDERSTAND 251 9.6.2 VOLUMENWIDERSTAND 253 9.6.3 ABSCHIRMVERHALTEN 253 9.6.4 9.7 9.8 9.9 9.6.4 9.7 9.8 9.9 10 10.1 10.2 10.2. 10.2. 10.2. 10.2. 10.2. 10.3 10.4 10.5 10.6 10.7 10.7 10.7 1 2 .3 .4 .5 .1 .1.1 10.7.1.2 10.7.1.3 10.7.2 10.7.3 10.8 10.8.1 10.8.2 10.8.3 % 10-9 * 10.10 . 10.11 ABLEITZEITMESSUNG - STATIC DECAY TIME 256 ENTLADEZEIT-IONISATOREN 258 LUFTFEUCHTIGKEIT UND TEMPERATUR 261 EINIGE PROBLEME BEIM MESSEN ELEKTROSTATISCHER KENNGROESSEN 261 ESD-NORMUNG 263 STAND UND TENDENZEN BEI DER ESD-NORMUNG 263 ESD-NORMUNG DIN EN 61340-5-1 [7] UND DIN EN 61340-5-2 [8] 267 ANWENDUNGSBEREICH 267 GRUNDSPEZIFIKATION - ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN - ALLGEMEINES .. 268 DEFINITIONEN 269 KENNZEICHNUNG VON ESDS-, ESD-GERECHTEN MATERIALIEN UND AUSRUESTUNGEN SOWIE ESD-ARBEITSPLAETZEN UND -BEREICHEN 272 BESTANDTEILE EINER ESD-SCHUTZZONE (EPA) 275 ANFORDERUNGEN AN ESD-GERECHTE TRANSPORTMITTEL UND VERPACKUNGEN 295 ESD-SCHUTZMASSNAHMEN BEI EINKAUF, WARENEINGANG, LAGERUNG... 297 SCHULUNG DES PERSONALS 299 QUALITAETSVERANTWORTUNG 300 NORMGERECHTE MESS- UND PRUEFVERFAHREN FUER ESD-SCHUTZMASSNAHMEN UND MATERIALIEN, DIE IN EINER EPA EINGESETZT WERDEN SOLLEN 305 WIDERSTANDSMESSUNGEN 305 OBERFLAECHENWIDERSTAND 306 ABLEITWIDERSTAND 306 VERGLEICH UND BEURTEILUNG DER MESSVERFAHREN FUER ABLEIT- UND OBERFLAECHENWIDERSTAENDE 307 TAEGLICHE KONTROLLE VON HANDGELENK-ERDUNGSARMBAENDERN UND SCHUHEN 307 NORMGERECHTES PRUEFEN VON MATERIALIEN UND AUSRUESTUNGEN 309 BESONDERE ANFORDERUNGEN 309 ANFORDERUNGEN BEI NIEDRIGER LUFTFEUCHTIGKEIT 309 ANFORDERUNGEN AN ESD-GERECHTE REINRAUMBEREICHE 310 ANFORDERUNGEN AN BEREICHE, IN DENEN MIT OFFENEN SPANNUNGEN GEARBEITET WIRD 310 VERGLEICH DIN EN 61340-5-1 [7] UND ANSI/ESD S20.20 [81] 311 ZUKUENFTIGE ESD-NORM DIN EN 61340-5-1 EDITION 2 311 MUSTER FUER EINE ARBEITSANWEISUNG 313 11 PRAKTISCHE MESSUNGEN UND ERFAHRUNGEN 325 11.1 ERFAHRUNGEN BEI DER MESSUNG VON FUSSBOEDEN SOWIE ARBEITSPLATZOBERFLAECHEN NACH DER AKTUELLEN ESD-NORM DIN EN 61340-5-1 325 11.2 ERFAHRUNGEN BEI DER MESSUNG VON VERPACKUNGSMATERIALIEN FUER ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE UND BAUGRUPPEN NACH DER AKTUELLEN ESD-NORM DIN EN 61340-5-1 339 12 LITERATUR 347 12.1 KAPITEL 1 347 12.2 KAPITEL 2 347 12.9 KAPITEL 10 351 12.10 KAPITEL 11 352 STICHWORTVERZEICHNIS 353 10
adam_txt	VDE-SCHRIFTENREIHE NORMEN VERSTAENDLICH ELEKTROSTATIK URSACHEN, WIRKUNGEN, SCHUTZMASSNAHMEN, MESSUNGEN, PRUEFUNGEN, NORMUNG DIPL.-ING. HARTMUT BERNDT * 2. AUFLAGE 2005 I: VDE VERLAG GMBH * BERLIN * OFFENBACH 71 INHALT 0 EINLEITUNG - VORBEMERKUNGEN 11 VORWORT ZUR 2. AUFLAGE 15 1 GRUNDBEGRIFFE 17 2 PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN 27 2.1 GRUNDGROESSEN DES ELEKTROSTATISCHEN FELDS 27 2.1.1 ELEKTRISCHE LADUNG SS 27 2.1.2 ELEKTRISCHER STROM / 31 2.1.3 STROMDICHTE S 31 2.1.4 POTENTIAL F 33 2.1.5 ELEKTRISCHE SPANNUNG U 34 2.1.6 ELEKTRISCHER WIDERSTAND R 35 2.1.7 ELEKTRISCHE ENERGIE W 36 2.1.8 ELEKTRISCHE LEISTUNG P 37 2.2 ELEKTROSTATISCHES FELD 38 2.2.1 LEITER IM ELEKTROSTATISCHEN FELD 40 2.2.2 VERSCHIEBUNGSFLUSSDICHTE F 41 2.3 BEZIEHUNG ZWISCHEN KAPAZITAET, LADUNG, SPANNUNG (KONDENSATOR) 44 2.4 ENERGIE IM ELEKTROSTATISCHEN FELD 47 2.5 BEWEGUNG FREIER LADUNGEN IM ELEKTROSTATISCHEN FELD 48 2.6 REIBUNGSELEKTRIZITAET UND KONTAKTSPANNUNG 48 2.6.1 REIBUNGSELEKTRIZITAET 49 2.6.2 KONTAKTSPANNUNG 49 3 ENTSTEHEN VON ELEKTROSTATISCHEN AUFLADUNGEN 53 3.1 ALLGEMEINE ENTSTEHUNGSMECHANISMEN 53 3.2 ALLGEMEINE ENTLADUNGSMECHANISMEN 60 3.2.1 TYPISCHE PERSONENENTLADUNG 60 3.2.2 ALLGEMEINE ENTLADUNGSARTEN 62 4 EINFLUSSMECHANISMEN ELEKTROSTATISCHER ENTLADUNGSVORGAENGE AUF ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE 67 4.1 HUMAN BODY MODEL - KOERPER-ENTLADUNGSMODELL 68 4.2 CHARGED DEVICE MODEL - MODELL VOM GELADENEN OBJEKT 73 4.3 MACHINE MODEL (MM) 81 4.4 FIELD INDUCED MODEL - ENTSTEHUNG ELEKTROSTATISCHER LADUNGEN DURCH EIN ELEKTRISCHES FELD 84 4.5 WEITERE ENTLADUNGSMODELLE - EINZELBAUELEMENTE 85 4.6 WEITERE ENTLADUNGSMODELLE - GERAETE 87 4.7 ZUSAMMENFASSUNG 89 5 WIRKUNGEN VON ESD AUF ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE 91 5.1 AUFBAU UND WIRKUNGSWEISE ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE 91 5.1.1 HALBLEITER ALLGEMEIN 91 5.1.2 LEITER 92 5.1.3 HALBLEITER 92 5.1.4 ISOLATOR 93 5.1.5 HALBLEITER - AUFBAU UND WIRKUNGSWEISE 93 5.1.6 PN-UEBERGANG -DIODE 95 5.1.7 NPN- BZW. PNP-UEBERGANG - TRANSISTOR 96 5.1.8 FELDEFFEKTTRANSISTOR 97 5.2 ENTLADUNG AN EINEM MOS-TRANSISTOR 100 5.2.1 PRAKTISCHE MOS-ANORDNUNGEN 100 5.2.2 ENTLADUNG AN EINEM MOS-TRANSISTOR 101 5.2.3 ENTLADUNG AN EINEM LEISTUNGS-MOS-TRANSISTOR 102 5.3 LATENTE FEHLER ODER DEGRADATION 104 5.4 WIRKUNGEN VON ESD AUF BIPOLARE BAUELEMENTE 107 5.4.1 WIM.SC/I-BE//-MODELL ZUM BESTIMMEN VON ESD-FEHLERN 107 5.4.2 BERECHNEN DER ESD-SPANNUNGSSCHWELLE VON PN-UEBERGAENGEN. 108 6 FEHLERMODELLE ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE 113 6.1 THERMISCHER DURCHBRUCH 114 6.2 DIELEKTRISCHER DURCHBRUCH 115 6.3 AUFSCHMELZEN DER METALLISIERUNG 116 7 SCHUTZMASSNAHMEN 119 7.1. INTEGRIERTE SCHUTZSCHALTUNGEN 119 7.1.1 WIDERSTANDSNETZWERK 120 7.1.2 DIODENKOMBINATION 121 7.1.3 WIDERSTANDS-DIODEN-KOMBINATION 121 7.8 8 9 9.1 9.2 7.1.4 FELDPLATTENELEKTRODE 122 7.1.5 PUNCH-THROUGH-TRANSISTOR MIT DUENNEM GATE-OXID 123 7.1.6 PUNCH-THROUGH-TRANSISTOR MIT DICKEM GATE-OXID (DICKER OXID-ANREICHERUNGSSPERRSCHICHT-TRANSISTOR) 125 7.1.7 PRAKTISCHE SCHUTZSCHALTUNGSANORDNUNGEN 125 7.2 TECHNOLOGISCHE SCHUTZMASSNAHMEN 126 7.3 ORGANISATORISCHE SCHUTZMASSNAHMEN 128 7.3.1 GESTALTEN DER ARBEITSPLAETZE, ARBEITSRAEUME UND ARBEITSBEREICHE . . 130 7.3.2 ANFORDERUNGEN AN EINEN ABLEITFAEHIGEN ARBEITSTISCH 133 7.3.3 ANFORDERUNGEN AN EINEN ABLEITFAEHIGEN ARBEITSSTUHL 134 7.3.4 ANFORDERUNGEN AN DEN ABLEITFAEHIGEN FUSSBODEN 135 7.3.5 ANFORDERUNGEN AN DIE HANDGELENKERDUNG 140 7.3.6 ANFORDERUNGEN AN DIE ERDUNGSEINRICHTUNG 141 7.3.7 ANFORDERUNGEN AN DIE PERSONENAUSRUESTUNG - ESD-GERECHTE BEKLEIDUNG UND ABLEITFAEHIGE SCHUHE 143 7.3.8 ANFORDERUNGEN AN LAGEREINRICHTUNGEN 145 7.3.9 ANFORDERUNGEN AN DIE ABGRENZUNG UND KENNZEICHNUNG 146 7.3.10 KONTROLLE DER LUFTFEUCHTIGKEIT 148 7.3.11 IONISATION 148 7.4 ESD-GERECHTE AUSFUEHRUNG VON MASCHINEN UND ANLAGEN 154 7.5 VERHALTEN DER ARBEITSKRAEFTE 156 7.6 LEITFAEHIGE UND ANTISTATISCHE VERPACKUNGEN 158 7.6.1 ALLGEMEINES 158 7.6.2 FOLIEN 159 7.6.2.1 ANFORDERUNGEN UND EIGENSCHAFTEN VON FOLIEN 159 7.6.2.2 LOW CHARGING ODER NICHT AUFLADBARE FOLIEN 161 7.6.2.3 LEITFAEHIGE FOLIEN 161 7.6.2.4 ELEKTROSTATISCH ABSCHIRMENDE FOLIEN 161 7.6.3 VERSANDSTANGEN, TRAYS, REELS 163 7.6.4 WIRKUNG VON ANTISTATIKA 164 7.7 AUFGABEN UND KONTROLLFUNKTIONEN EINES ESD-BEAUFTRAGTEN - UEBERPRUEFUNGSRICHTLINIEN 166 7.8 ESD-KONTROLLPROGRAMM 170 8 TECHNISCHE MERKBLAETTER FUER DEN ESD-KOMPLEX 173 9 MESSVERFAHREN 193 9.1 MESSEN DER ELEKTROSTATISCHEN LADUNG 193 9.2 MESSEN DER ELEKTRISCHEN FELDSTAERKE IN EINEM ELEKTROSTATISCHEN FELD 197 9.3 MESSEN VON OBERFLAECHEN- UND ABLEITWIDERSTAENDEN 204 9.3.1 ANWENDUNGSHINWEISE FUER DEN EINSATZ DER IM FOLGENDEN BESCHRIEBENEN MESSVERFAHREN UND MESSPRINZIPIEN 207 9.3.2 MESSEN VON OBERFLAECHENWIDERSTAENDEN 209 9.3.3 MESSEN VON ABLEITWIDERSTAENDEN 216 9.3.4 MESSEN VON VOLUMENWIDERSTAENDEN 222 9.3.5 SONSTIGE MESSVERFAHREN 225 9.4 PRAKTISCHE MESSUNGEN UND MESSVORSCHRIFTEN FUER ABLEIT- UND OBERFLAECHENWIDERSTAENDE ZUM ERMITTELN DER WIRKSAMKEIT DER ESD-SCHUTZMASSNAHMEN 227 9.4.1 ESD-GERECHTE FUSSBOEDEN 228 9.4.1.1 ABLEITWIDERSTAND VON FUSSBOEDEN 228 9.4.1.2 OBERFLAECHENWIDERSTAND VON FUSSBOEDEN UND MATERIALIEN FUER FUSSBOEDEN 230 9.4.2 ESD-GERECHTE ARBEITSOBERFLAECHEN 231 9.4.2.1 ABLEITWIDERSTAND VON ARBEITSOBERFLAECHEN 231 9.4.2.2 OBERFLAECHENWIDERSTAND VON ARBEITSOBERFLAECHEN UND MATERIALIEN FUER ARBEITSOBERFLAECHEN 233 9.4.2.3 REGALOBERFLAECHEN 233 9.4.3 PRUEFEN VON TRANSPORTWAGEN 235 9.4.4 PRUEFEN VON ESD-GERECHTEN STUEHLEN 235 9.4.5 PRUEFEN ESD-GERECHTER BEKLEIDUNG 237 9.4.5.1 SCHUHWERK 237 9.4.5.2 ARBEITSBEKLEIDUNG 239 9.4.5.3 HANDSCHUHE UND FINGERLINGE 242 9.4.6 WERKZEUGE 243 9.4.7 VERPACKUNGSMATERIALIEN 244 9.4.7.1 ESD-GERECHTE FOLIEN 245 9.4.7.2 WELLPAPPE, LEITFAEHIG BESCHICHTET 245 9.4.7.3 IC-VERSANDSTANGEN, ROLLEN, GURTE USW 245 9.5 MESSEN DER AUFLADBARKEIT VON MATERIALIEN 246 9.5.1 AUFLADBARKEIT VON BODENBELAEGEN 247 9.5.2 AUFLADUNG VON PERSONEN BEIM GEHEN UEBER EINEN FUSSBODEN 248 9.5.3 AUFLADBARKEIT VON ARBEITSPLATZOBERFLAECHEN 249 9.6 BESTIMMEN DER MATERIALEIGENSCHAFTEN VON VERPACKUNGSMATERIALIEN 251 9.6.1 OBERFLAECHENWIDERSTAND 251 9.6.2 VOLUMENWIDERSTAND 253 9.6.3 ABSCHIRMVERHALTEN 253 9.6.4 9.7 9.8 9.9 9.6.4 9.7 9.8 9.9 10 10.1 10.2 10.2. 10.2. 10.2. 10.2. 10.2. 10.3 10.4 10.5 10.6 10.7 10.7 10.7 1 2 .3 .4 .5 .1 .1.1 10.7.1.2 10.7.1.3 10.7.2 10.7.3 10.8 10.8.1 10.8.2 10.8.3 % 10-9 *' 10.10 . 10.11 ABLEITZEITMESSUNG - STATIC DECAY TIME 256 ENTLADEZEIT-IONISATOREN 258 LUFTFEUCHTIGKEIT UND TEMPERATUR 261 EINIGE PROBLEME BEIM MESSEN ELEKTROSTATISCHER KENNGROESSEN 261 ESD-NORMUNG 263 STAND UND TENDENZEN BEI DER ESD-NORMUNG 263 ESD-NORMUNG DIN EN 61340-5-1 [7] UND DIN EN 61340-5-2 [8] 267 ANWENDUNGSBEREICH 267 GRUNDSPEZIFIKATION - ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN - ALLGEMEINES . 268 DEFINITIONEN 269 KENNZEICHNUNG VON ESDS-, ESD-GERECHTEN MATERIALIEN UND AUSRUESTUNGEN SOWIE ESD-ARBEITSPLAETZEN UND -BEREICHEN 272 BESTANDTEILE EINER ESD-SCHUTZZONE (EPA) 275 ANFORDERUNGEN AN ESD-GERECHTE TRANSPORTMITTEL UND VERPACKUNGEN 295 ESD-SCHUTZMASSNAHMEN BEI EINKAUF, WARENEINGANG, LAGERUNG. 297 SCHULUNG DES PERSONALS 299 QUALITAETSVERANTWORTUNG 300 NORMGERECHTE MESS- UND PRUEFVERFAHREN FUER ESD-SCHUTZMASSNAHMEN UND MATERIALIEN, DIE IN EINER EPA EINGESETZT WERDEN SOLLEN 305 WIDERSTANDSMESSUNGEN 305 OBERFLAECHENWIDERSTAND 306 ABLEITWIDERSTAND 306 VERGLEICH UND BEURTEILUNG DER MESSVERFAHREN FUER ABLEIT- UND OBERFLAECHENWIDERSTAENDE 307 TAEGLICHE KONTROLLE VON HANDGELENK-ERDUNGSARMBAENDERN UND SCHUHEN 307 NORMGERECHTES PRUEFEN VON MATERIALIEN UND AUSRUESTUNGEN 309 BESONDERE ANFORDERUNGEN 309 ANFORDERUNGEN BEI NIEDRIGER LUFTFEUCHTIGKEIT 309 ANFORDERUNGEN AN ESD-GERECHTE REINRAUMBEREICHE 310 ANFORDERUNGEN AN BEREICHE, IN DENEN MIT OFFENEN SPANNUNGEN GEARBEITET WIRD 310 VERGLEICH DIN EN 61340-5-1 [7] UND ANSI/ESD S20.20 [81] 311 ZUKUENFTIGE ESD-NORM DIN EN 61340-5-1 EDITION 2 311 MUSTER FUER EINE ARBEITSANWEISUNG 313 11 PRAKTISCHE MESSUNGEN UND ERFAHRUNGEN 325 11.1 ERFAHRUNGEN BEI DER MESSUNG VON FUSSBOEDEN SOWIE ARBEITSPLATZOBERFLAECHEN NACH DER AKTUELLEN ESD-NORM DIN EN 61340-5-1 325 11.2 ERFAHRUNGEN BEI DER MESSUNG VON VERPACKUNGSMATERIALIEN FUER ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE UND BAUGRUPPEN NACH DER AKTUELLEN ESD-NORM DIN EN 61340-5-1 339 12 LITERATUR 347 12.1 KAPITEL 1 347 12.2 KAPITEL 2 347 12.9 KAPITEL 10 351 12.10 KAPITEL 11 352 STICHWORTVERZEICHNIS 353 10
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