International Semiconductor Manufacturing Science Symposium. (1991). IEEE SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium. IEEE Service Center.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)International Semiconductor Manufacturing Science Symposium. IEEE SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium. Piscataway, NJ: IEEE Service Center, 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)International Semiconductor Manufacturing Science Symposium. IEEE SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium. IEEE Service Center, 1991.
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