Bayerstadler, A. (2006). Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Bayerstadler, Anton. Reinigung Und Gasphasenepitaxie in Einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem Für Zukünftige CMOS-Technologien. 2006.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Bayerstadler, Anton. Reinigung Und Gasphasenepitaxie in Einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem Für Zukünftige CMOS-Technologien. 2006.
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