Herstellung von Si-Si 1-x Ge x-Nanostrukturen mittels selektiver Niederdruck-Gasphasenepitaxie: Wachstum und Charakterisierung
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1996
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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