Papenbreer, R. L. (1995). Elektron - Zyklotron - Resonanz, Mikrowellen - Ionenquelle hoher Leistung zur Mikrostrukturierung: Schichtdeposition und Diagnostik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Papenbreer, Rudolf L. Elektron - Zyklotron - Resonanz, Mikrowellen - Ionenquelle Hoher Leistung Zur Mikrostrukturierung: Schichtdeposition Und Diagnostik. 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Papenbreer, Rudolf L. Elektron - Zyklotron - Resonanz, Mikrowellen - Ionenquelle Hoher Leistung Zur Mikrostrukturierung: Schichtdeposition Und Diagnostik. 1995.
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