Entwicklung eines Prozessmodelles zur Analyse und Prognose der Schnittspaltentwicklung beim Draht-Trennläppen von Silizium:
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Aachen
Shaker
2006
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| Series: | Berichte aus der Produktionstechnik
2006,16 |
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|---|---|
| adam_text | *:::: * RWIHMCHEN FRAUNHOFER INSTITUT PRODUKTIONSTECHNOLOGIE BERICHTE
AUS DER PRODUKTIONSTECHNIK STEPHAN HUTTENHUIS OP BEVERS ENTWICKLUNG
EINES PROZESSMODEIIES ZUR ANALYSE UND PROGNOSE DER
SCHNITTSPALTENTWICKLUNG BEIM DRAHT-TRENNLAEPPEN VON SILIZIUM HERAUSGEBER:
PROF. EM. DR.-ING. DR. H. C. MULT. DIPL.-WIRT. ING. W. EVERSHEIM PROF.
DR.-ING. F. KLOCKE PROF. EM. DR.-ING. DR. H. C. MULT. PROF. H. C. T.
PFEIFER PROF. DR.-ING. DIPL.-WIRT. ING. G. SCHUH PROF. EM. DR.-ING.
DR.-ING. E. H. DR.-ING. E. H. M. WECK PROF. DR.-ING. C. BRECHER PROF.
DR.-ING. R. SCHMITT BOMD 16/2006 SHAKER VERLAG INHALT 1 EINLEITUNG 1 2
GRUNDLAGEN UND STAND DER ERKENNTNISSE 3 2.1 FERTIGUNG VON
SILIZIUMSUBSTRATEN 3 2.1.1 PROZESSKETTE ZUR WAFERFERTIGUNG 3 2.1.2
KENNGROESSEN ZUR GEOMETRISCHEN CHARAKTERISIERUNG VON WAFERN 6 2.2
KENNTNISSTAND ZUR MWS-TECHNOLOGIE 7 2.3 KENNTNISSTAND ALTERNATIVER
BEARBEITUNGSVERFAHREN MIT LOSEM KORN 14 2.4 REGRESSIONSANALYSE 15 3
AUFGABENSTELLUNG UND ZIELSETZUNG 19 4 VERSUCHSAUFBAU 23 5 ANALYSE DES
EINFLUSSES DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DAS PROZESSVERHALTEN 27 5.1
EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DEN SLURRYTRANSPORT ZUM ORT DER
ZERSPANUNG 27 5.1.1 ANALYSE DES EINFLUSSES DER DRAHTGESCHWINDIGKEIT V D
UND DES SLURRYZUFUHRVOLUMENSTROMES 28 5.1.2 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
SLURRYTEMPERATUR 31 5.2 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DEN IM
PROZESS AKTIVEN SLURRYMENGENANTEIL 33 5.2.1 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
DRAHTGESCHWINDIGKEIT V D UND DES SLURRYVOLUMENSTROMES 33 5.2.2 ANALYSE
DES EINFLUSSES DER SLURRY TEMPERATUR 35 5.2.3 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
SLURRYDUESEN POSITIONIERUNG 37 5.3 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN
AUF DIE ANFANGSSPALTENTWICKLUNG 39 5.3.1 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
DRAHTGESCHWINDIGKEIT V D AUF DIE ANFANGSSPALTAUSPRAEGUNG 40 5.3.2 ANALYSE
DES EINFLUSSES DER WERKSTUECKVORSCHUBGESCHWINDIGKEIT V, AUF DIE
ANFANGSSPALTAUSPRAEGUNG 41 5.3.3 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
SLURRYAUFSTAUUNG IM DRAHTEINTRITTSBEREICH AUF DIE ANFANGSSPALTAUSPRAEGUNG
42 5.3.4 ANALYSE DES EINFLUSSES DES ABSTANDES ZWISCHEN SLURRYDUESE UND
WERKSTUECK 48 5.4 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DIE
SCHNITTSPALTENTWICKLUNG IM GESAMTEN KONTAKTBEREICH 51 5.4.1 ANALYSE DES
EINFLUSSES DES ABSTANDES VOM KONTAKTBEGINN I K - AUF DIE
SPALTWEITENENTWICKLUNG 53 5.4.2 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
DRAHTGESCHWINDIGKEIT V D AUF DIE SPALTWEITENENTWICKLUNG ^ 57 5.4.3
ANALYSE DES EINFLUSSES DER WERKSTUECKVORSCHUBGESCHWINDIGKEIT V, AUF DIE
SPALTWEITENENTWICKLUNG 61 5.4.4 ANALYSE DES EINFLUSSES DER KONTAKTLAENGE
IK AUF DIE SPALTWEITENENTWICKLUNG 64 INHALT 5.4.5 ANALYSE DES EINFLUSSES
DES PRALLWINKELS A PRA N AUF DIE SPALTWEITENENTWICKLUNG 66 5.4.6 ANALYSE
DES EINFLUSSES DES SLURRY-ZUFUHRVOLUMENSTROMES AUF DIE
SPALTWEITENENTWICKLUNG 68 5.5 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF
DIE PROZESSKRAEFTE 72 5.5.1 ANALYSE DER PROZESSKRAEFTE IN
WERKSTUECKVORSCHUBRICHTUNG 73 5.5.2 ANALYSE DER PROZESSKRAEFTE IN
DRAHTRICHTUNG 76 5.6 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DIE
WERKSTUECKRAUHEIT 79 6 ANALYSE DER VORGAENGE IM SCHNITTSPALT UND
MODELLBILDUNG 83 6.1 ANALYSE DER PROZESSKONTAKTFLAECHEN UND MODELLBILDUNG
83 6.2 ANALYSE DES AKTIVEN SLURRYVOLUMENSTROMES UND MODELLBILDUNG 85 6.3
ANALYSE DER MENGE DER AKTIVEN KOERNER IM SCHNITTSPALT 89 6.3.1 BESTIMMUNG
DER GESAMTKORNMENGE IM SCHNITTSPALT 89 6.3.2 BESTIMMUNG DER MENGE DER
AKTIVEN KOERNER IM SCHNITTSPALT 91 6.3.3 BESTIMMUNG DER MENGE DER
GLEICHZEITIG AKTIVEN KOERNER IM SCHNITTSPALT 95 6.4 ERFORSCHUNG DER
KORNEINZELKRAEFTE 99 6.4.1 BESTIMMUNG DER MINIMAL NOTWENDIGEN
KORNEINZELKRAFT 99 6.4.1.1 EINFLUSS DES LASTNIVEAUS 100 6.4.1.2 EINFLUSS
DER EINDRUCKWIEDERHOLUNGEN BEI KONSTANTEM LASTNIVEAU - 101 6.4.1.3
EINFLUSS BENACHBARTER EINDRUECKE 102 6.4.1.4 ANALYSE DER DRAHTREAKTION
FUER DAS ERMITTELTE LASTNIVEAU 103 6.4.2 EINFLUSS DES HYDRODYNAMISCHEN
DRUCKAUFBAUS 104 6.4.3 RECHNERISCHE ERMITTLUNG DER KORNEINZELKRAEFTE 105
6.4.3.1 ANALYSE DER KOMEINZELKRAEFTE IN NORMALENRICHTUNG 105 6.4.3.2
ANALYSE DER KORNEINZELKRAEFTE IN TANGENTIALRICHTUNG 109 6.4.4 ANALYSE DES
KORNEINZELKRAFTVERHAELTNISSES UND ABLEITEN DES KORNBEWEGUNGSABLAUFES 111
7 MODELLBASIERTE UND SCHNITTVERLUSTORIENTIERTE PROZESSOPTIMIERUNG 119
7.1 PENDELSCHRITTKINEMATIK 119 7.2 PILGERSCHRITTKINEMATIK 126 7.3
»BOTHDIRECTION PENDELSCHRITTKINEMATIK 129 8 ZUSAMMENFASSUNG 133 9
LITERATURVERZEICHNIS 139 10 ANHANG 149 10.1 VERWENDETE DUESENGEOMETRIE **
149
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*:::: * RWIHMCHEN FRAUNHOFER INSTITUT PRODUKTIONSTECHNOLOGIE BERICHTE
AUS DER PRODUKTIONSTECHNIK STEPHAN HUTTENHUIS OP BEVERS ENTWICKLUNG
EINES PROZESSMODEIIES ZUR ANALYSE UND PROGNOSE DER
SCHNITTSPALTENTWICKLUNG BEIM DRAHT-TRENNLAEPPEN VON SILIZIUM HERAUSGEBER:
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DR.-ING. E. H. DR.-ING. E. H. M. WECK PROF. DR.-ING. C. BRECHER PROF.
DR.-ING. R. SCHMITT BOMD 16/2006 SHAKER VERLAG INHALT 1 EINLEITUNG 1 2
GRUNDLAGEN UND STAND DER ERKENNTNISSE 3 2.1 FERTIGUNG VON
SILIZIUMSUBSTRATEN 3 2.1.1 PROZESSKETTE ZUR WAFERFERTIGUNG 3 2.1.2
KENNGROESSEN ZUR GEOMETRISCHEN CHARAKTERISIERUNG VON WAFERN 6 2.2
KENNTNISSTAND ZUR MWS-TECHNOLOGIE 7 2.3 KENNTNISSTAND ALTERNATIVER
BEARBEITUNGSVERFAHREN MIT LOSEM KORN 14 2.4 REGRESSIONSANALYSE 15 3
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EINFLUSSES DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DAS PROZESSVERHALTEN 27 5.1
EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DEN SLURRYTRANSPORT ZUM ORT DER
ZERSPANUNG 27 5.1.1 ANALYSE DES EINFLUSSES DER DRAHTGESCHWINDIGKEIT V D
UND DES SLURRYZUFUHRVOLUMENSTROMES 28 5.1.2 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
SLURRYTEMPERATUR 31 5.2 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DEN IM
PROZESS AKTIVEN SLURRYMENGENANTEIL 33 5.2.1 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
DRAHTGESCHWINDIGKEIT V D UND DES SLURRYVOLUMENSTROMES 33 5.2.2 ANALYSE
DES EINFLUSSES DER SLURRY TEMPERATUR 35 5.2.3 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
SLURRYDUESEN POSITIONIERUNG 37 5.3 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN
AUF DIE ANFANGSSPALTENTWICKLUNG 39 5.3.1 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
DRAHTGESCHWINDIGKEIT V D AUF DIE ANFANGSSPALTAUSPRAEGUNG 40 5.3.2 ANALYSE
DES EINFLUSSES DER WERKSTUECKVORSCHUBGESCHWINDIGKEIT V, AUF DIE
ANFANGSSPALTAUSPRAEGUNG 41 5.3.3 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
SLURRYAUFSTAUUNG IM DRAHTEINTRITTSBEREICH AUF DIE ANFANGSSPALTAUSPRAEGUNG
42 5.3.4 ANALYSE DES EINFLUSSES DES ABSTANDES ZWISCHEN SLURRYDUESE UND
WERKSTUECK 48 5.4 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DIE
SCHNITTSPALTENTWICKLUNG IM GESAMTEN KONTAKTBEREICH 51 5.4.1 ANALYSE DES
EINFLUSSES DES ABSTANDES VOM KONTAKTBEGINN I K - AUF DIE
SPALTWEITENENTWICKLUNG 53 5.4.2 ANALYSE DES EINFLUSSES DER
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IK AUF DIE SPALTWEITENENTWICKLUNG 64 INHALT 5.4.5 ANALYSE DES EINFLUSSES
DES PRALLWINKELS A PRA N AUF DIE SPALTWEITENENTWICKLUNG 66 5.4.6 ANALYSE
DES EINFLUSSES DES SLURRY-ZUFUHRVOLUMENSTROMES AUF DIE
SPALTWEITENENTWICKLUNG 68 5.5 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF
DIE PROZESSKRAEFTE 72 5.5.1 ANALYSE DER PROZESSKRAEFTE IN
WERKSTUECKVORSCHUBRICHTUNG 73 5.5.2 ANALYSE DER PROZESSKRAEFTE IN
DRAHTRICHTUNG 76 5.6 EINFLUSS DER PROZESSRANDBEDINGUNGEN AUF DIE
WERKSTUECKRAUHEIT 79 6 ANALYSE DER VORGAENGE IM SCHNITTSPALT UND
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GLEICHZEITIG AKTIVEN KOERNER IM SCHNITTSPALT 95 6.4 ERFORSCHUNG DER
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