Diagnostics and modeling of an inductively coupled radio frequency discharge in hydrogen:
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kadetov, Victor A. 1972- (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
German
Veröffentlicht: München Verl. Dr. Hut 2005
Ausgabe:1. Aufl.
Schriftenreihe:Physik
Schlagworte:
Beschreibung:Zugl.: Bochum, Univ., Diss., 2004
Beschreibung:160 S. graph. Darst.
ISBN:3899631706

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