Frühauf, J. (2005). Surface dopant interactions in ultra-shallow junctions.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Frühauf, Jens. Surface Dopant Interactions in Ultra-shallow Junctions. 2005.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Frühauf, Jens. Surface Dopant Interactions in Ultra-shallow Junctions. 2005.
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