(2005). MOEMS: Micro-opto-electro-mechanical systems. SPIE Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)MOEMS: Micro-opto-electro-mechanical Systems. Bellingham, WA: SPIE Press, 2005.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)MOEMS: Micro-opto-electro-mechanical Systems. SPIE Press, 2005.
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