Nanohärtemessung mit dem Rasterkraftmikroskop:
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Osnabrück
<<Der>> Andere Verl.
2002
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INHALTSVERZEICHNIS
ABSTRACT
XII
1
EINLEITUNG
1
2
TIEFENREGISTRIERENDE
EINDRUCKPRUEFUNG
5
2.1
EINFUEHRUNG
.
5
2.2
DIE
KRAFT-EINDRING-KURVE
.
10
2.2.1
DIE
BELASTUNGSKURVE
.
10
2.2.2
DIE
ENTLASTUNGSKURVE
.
14
2.2.3
FE-SIMULATION
VON
KRAFT-EINDRING-KURVEN
.
15
2.3
ELASTISCHE
UND
PLASTISCHE
ANISOTROPIE
.
16
2.3.1
ELASTISCHE
ANISOTROPIE
.
16
2.3.2
PLASTISCHE
ANISOTROPIE
.
17
2.4
EINDRUCKGROESSENEFFEKT
.
18
2.5
DATENAUFNAHME
UND
-AUSWERTUNG
.
20
2.5.1
DAS
MODELL
VON
OLIVER
UND
PHARR
.
20
2.5.2
FLAECHENFUNKTION
UND
MASCHINENSTEIFIGKEIT
.
22
2.5.3
KRAFTPROFILE
.
25
2.5.4
STREUUNG
.
25
3
RASTER-KRAFT-MIKROSKOPIE
27
3.1
DAS
RASTER-KRAFT-MIKROSKOP
.
27
3.1.1
FUNKTIONSWEISE
.
27
3.1.2
BETRIEBSARTEN
DES
AFM
.
33
3.2
EXPERIMENTELLE
AUSSTATTUNG
.
36
3.2.1
TOPOMETRIX
EXPLORER
.
36
3.2.2
MULTIMODE
AFM
.
36
3.2.3
HAERTEPRUEFER
VON
HYSITRON
.
38
4
NANOHAERTEMESSUNGEN:
ERGEBNISSE
41
4.1
UEBERSICHT
.
41
4.2
NICKELBASIS-SUPERLEGIERUNGEN
.
43
X
INHALTSVERZEICHNIS
4.2.1
WERKSTOFFE
.
43
4.2.2
PRAEPARATION
.
44
4.2.3
CMSX-6:
ERGEBNISSE
.
45
4.2.4
WASPALOY:
ERGEBNISSE
.
47
4.3
PST-TIAL
.
50
4.3.1
WERKSTOFF
.
50
4.3.2
PRAEPARATION
.
52
4.3.3
ERGEBNISSE
.
52
5
ENTWICKLUNG
EINES
NANOHAERTEPRUEFERS
61
5.1
MOTIVATION
.
61
5.2
FUNKTIONSWEISE
.
62
5.2.1
AUFBAU
.
62
5.2.2
ABBILDUNGSMODUS
.
62
5.2.3
HAERTEPRUEFUNGSMODUS
.
62
5.2.4
DETEKTION
DER
FEDERAUSLENKUNG
.
64
5.2.5
KRAFTMESSUNG
.
69
5.2.6
TIEFENMESSUNG
.
74
5.2.7
REGELUNG
.
77
5.3
TESTMESSUNGEN
.
80
5.4
WEITERE
MOEGLICHKEITEN
.
82
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
87
6.1
ZUSAMMENFASSUNG
.
87
6.2
AUSBLICK
.
88
A
TECHNISCHE
DETAILS
DES
HAERTEPRUEFERS
93
A.L
AUFBAU
DES
HAERTEPRUEFERS
.
93
A.2
DIE
FEDERBALKEN
.
97
A.3
DMS-EICHUNG
.
103
B
ABSTANDSMESSUNG
MITTELS
LICHTZEIGER-METHODE
107
B.L
FUNKTIONSWEISE
.
107
B.2
VERGLEICH
MIT
DEM
FASEROPTISCHEN
ABSTANDSDETEKTOR
.
109
C
MODIFIZIERTER
NANOHAERTEPRUEFER
113
D
KRIECHKORREKTUR
DES
AFM-PIEZOS
117
E
ERGAENZENDE
ANMERKUNGEN
ZUR
PROGRAMMIERUNG
121
E.L
UEBERBLICK
.
121
E.2
DAS
REALTIME-MODUL
RT.APP
.
124
E.3
DER
LITHOGRAFIE-MODUS
.
126
INHALTSVERZEICHNIS
XI
E.4
TIEFENREGELUNG
.
132
E.5
VERWENDETE
SOFTWARE
.
135
F
PRAEPARATIONSREZEPTUREN
137
F.L
NICKELBASIS-SUPERLEGIERUNGEN
.
137
F.1.1
ELEKTROPOLITUR
.
137
F.L.
2
MIKROAETZUNG
.
138
F.2
KUPFER
.
138
F.3
ALUMINIUM
.
139
G
ABKTLRZUNGSVERZEICHNIS
141
LITERATURVERZEICHNIS
143
PUBLIKATIONEN
154
DANKSAGUNG
157 |
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