Selbstorganisation von periodischen Nanostrukturen & Quantenpunkten durch Ionensputtern:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2005
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
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| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2005 |
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| adam_text | SELBSTORGANISATION VON PERIODISCHEN NANOSTRUKTUREN & QUANTENPUNKTEN
DURCH LONENSPUTTERN VON DER FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK DER RHEINISCH-WESTFAELISCHEN TECHNISCHEN HOCHSCHULE
AACHEN ZUR ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN GRADES EINES DOKTORS DER
NATURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE DISSERTATION VORGELEGT VON
DIPLOM-PHYSIKER THOMAS BOBEK AUS BETZDORF BERICHTER:
UNIVERSITAETSPROFESSOR DR. PHIL. (UNI WIEN) HEINRICH KURZ
UNIVERSITAETSPROFESSOR DR. RER. NAT. ARNE STAHL TAG DER MUENDLICHEN
PRUEFUNG: 31. JANUAR 2005 INHALTSVERZEICHNIS 1. EINLEITUNG 1 2.
GRUNDLAGEN 5 2.1. IONEN-FESTKOERPER WECHSELWIRKUNG 7 2.2. THEORIE DES
SPUTTERVORGANGES 11 2.2.1. EINDRINGTIEFE UND ENERGIEVERTEILUNG DER IONEN
IM FESTKOERPER . . . . 12 2.2.2. SPUTTERAUSBEUTE (YIELD) 13 2.2.3.
ENERGIEABHAENGIGKEIT DES SPUTTERYIELDS 15 2.2.4. PRAEFERENTIELLES SPUTTERN
16 2.2.5. AMORPHISIERUNG 17 2.2.6. KLEINE IONENENERGIEN 18 2.2.7.
NUMERISCHE METHODEN 18 2.3. ERZEUGUNG UND BESCHREIBUNG VON
OBERFLAECHENMODULATIONEN 19 2.3.1. SPUTTERMODELL VON BRADLEY UND HARPER
22 2.3.2. KURAMOTO SIVASHINSKY DIFFERENTIALGLEICHUNG 26 2.3.3.
STABILISIERTE FORM DER KURAMOTO-SIVASHINSKY GLEICHUNG 27 3.
EXPERIMENTELLER AUFBAU 31 3.1. HERSTELLUNG PERIODISCHER
OBERFLAECHENSTRUKTUREN 31 3.1.1. MASSENSPEKTROMETRIE MIT IONENSTRAHLEN 31
3.1.2. SEKUNDAER-NEUTRALTEILCHEN MASSENSPEKTROMETRIE 33 3.2.
CHARAKTERISIERUNG DER ERZEUGTEN PUNKTSTRUKTUREN 35 3.2.1.
RASTERKRAFT-MIKROSKOPIE 36 3.2.2. AUGER-SPEKTROSKOPIE 38 3.2.3.
/I-PHOTOLUMINESZENZ 40 4. ERZEUGUNG VON NANOSTRUKTUREN DURCH
NIEDERENERGETISCHEN LONENBESCHUSS 43 4.1. ERZEUGUNG PERIODISCHER
NANOMUSTER 44 4.1.1. DIE DYNAMIK DER MUSTERENTSTEHUNG 49 4.1.2. DIE
INDIVIDUELLE FORM DER NANODOTS 55 4.1.3. ENERGIEABHAENGIGKEIT DER
DOT-GROESSE 59 4.1.4. STOECHIOMETRIE-AENDERUNG WAEHREND DES SPUTTERVORGANGES
60 INHALTSVERZEICHNIS 4.2. DIE NUMERISCHE MODELLIERUNG DER
PUNKTMUSTER-ENTSTEHUNG 65 4.2.1. ERGEBNISSE DER BRADLEY-HARPER GLEICHUNG
66 4.2.2. ERGEBNISSE DER KURAMOTO-SIVASHINSKY GLEICHUNG 68 4.2.3. DIE
STABILISIERTE KS-GLEICHUNG 72 4.3. QUANTENPUNKTE AUS HALBLEITERN UND
METALLEN 80 4.3.1. LUMINESZENZEIGENSCHAFTEN VON
HALBLEITER-QUANTENPUNKTEN 80 4.3.2. ERZEUGUNG VON METALLISCHEN
NANOSTRUKTUREN 86 5. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 93 A. ANHANG 97 A.L.
KOEFFIZIENTEN DER KURAMOTO-SIVASHINSKY DIFFERENTIALGLEICHUNG 97 A.2.
FORMELN ZUR CHARAKTERISIERUNG DER OBERFLAECHE 97 A.3. MATERIALPARAMETER
99 A.4. DIE OBERFLAECHE VON GASB IN REAKTION MIT DEM LUFT-SAUERSTOFF 99
A.5. AUGER-ENERGIE-LINIEN 100
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