Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
2005
|
| Series: | Berichte aus der Physik
|
| Subjects: | |
| Physical Description: | VI, 115 S. Ill., graph. Darst. 21 cm, 182 gr. |
| ISBN: | 3832237372 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV019834210 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 050606s2005 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 05,H06,0973 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 973982535 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3832237372 |c kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 |9 3-8322-3737-2 | ||
| 024 | 3 | |a 9783832237370 | |
| 035 | |a (OCoLC)76727300 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV019834210 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE-NW | ||
| 049 | |a DE-355 | ||
| 084 | |a UQ 2200 |0 (DE-625)146489: |2 rvk | ||
| 084 | |a 530 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Sienz, Stefan |d 1971- |e Verfasser |0 (DE-588)129859214 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid |c Stefan Sienz |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2005 | |
| 300 | |a VI, 115 S. |b Ill., graph. Darst. |c 21 cm, 182 gr. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Physik | |
| 502 | |a Zugl.: Leipzig, Univ., Diss., 2004 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Galliumnitrid |0 (DE-588)4375592-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schichtwachstum |0 (DE-588)4273432-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Substrat |g Mikroelektronik |0 (DE-588)4229622-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenplattieren |0 (DE-588)4162334-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Molekularstrahlepitaxie |0 (DE-588)4170399-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Galliumnitrid |0 (DE-588)4375592-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Schichtwachstum |0 (DE-588)4273432-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Molekularstrahlepitaxie |0 (DE-588)4170399-6 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Ionenplattieren |0 (DE-588)4162334-4 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Substrat |g Mikroelektronik |0 (DE-588)4229622-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013159232 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804133341895589888 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Sienz, Stefan 1971- |
| author_GND | (DE-588)129859214 |
| author_facet | Sienz, Stefan 1971- |
| author_role | aut |
| author_sort | Sienz, Stefan 1971- |
| author_variant | s s ss |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV019834210 |
| classification_rvk | UQ 2200 |
| ctrlnum | (OCoLC)76727300 (DE-599)BVBBV019834210 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01974nam a2200517 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV019834210</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">050606s2005 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">05,H06,0973</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">973982535</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3832237372</subfield><subfield code="c">kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60</subfield><subfield code="9">3-8322-3737-2</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="3" ind2=" "><subfield code="a">9783832237370</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76727300</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV019834210</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE-NW</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UQ 2200</subfield><subfield code="0">(DE-625)146489:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">530</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Sienz, Stefan</subfield><subfield code="d">1971-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)129859214</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid</subfield><subfield code="c">Stefan Sienz</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2005</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 115 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield><subfield code="c">21 cm, 182 gr.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Physik</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Leipzig, Univ., Diss., 2004</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Galliumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4375592-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schichtwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4273432-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Substrat</subfield><subfield code="g">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4229622-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenplattieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162334-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Molekularstrahlepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4170399-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Galliumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4375592-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Schichtwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4273432-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Molekularstrahlepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4170399-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Ionenplattieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162334-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Substrat</subfield><subfield code="g">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4229622-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013159232</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV019834210 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T20:07:11Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3832237372 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013159232 |
| oclc_num | 76727300 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR |
| physical | VI, 115 S. Ill., graph. Darst. 21 cm, 182 gr. |
| publishDate | 2005 |
| publishDateSearch | 2005 |
| publishDateSort | 2005 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Physik |
| spelling | Sienz, Stefan 1971- Verfasser (DE-588)129859214 aut Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid Stefan Sienz Aachen Shaker 2005 VI, 115 S. Ill., graph. Darst. 21 cm, 182 gr. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Physik Zugl.: Leipzig, Univ., Diss., 2004 Galliumnitrid (DE-588)4375592-6 gnd rswk-swf Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd rswk-swf Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd rswk-swf Ionenplattieren (DE-588)4162334-4 gnd rswk-swf Molekularstrahlepitaxie (DE-588)4170399-6 gnd rswk-swf Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Galliumnitrid (DE-588)4375592-6 s Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 s Molekularstrahlepitaxie (DE-588)4170399-6 s Ionenplattieren (DE-588)4162334-4 s Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 s Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 s DE-604 |
| spellingShingle | Sienz, Stefan 1971- Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid Galliumnitrid (DE-588)4375592-6 gnd Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd Ionenplattieren (DE-588)4162334-4 gnd Molekularstrahlepitaxie (DE-588)4170399-6 gnd Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4375592-6 (DE-588)4273432-0 (DE-588)4229622-5 (DE-588)4162334-4 (DE-588)4170399-6 (DE-588)4055009-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid |
| title_auth | Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid |
| title_exact_search | Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid |
| title_full | Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid Stefan Sienz |
| title_fullStr | Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid Stefan Sienz |
| title_full_unstemmed | Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid Stefan Sienz |
| title_short | Ionenstrahlgestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten auf Siliziumkarbid |
| title_sort | ionenstrahlgestutzte synthese von epitaktischen galliumnitrid schichten auf siliziumkarbid |
| topic | Galliumnitrid (DE-588)4375592-6 gnd Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd Ionenplattieren (DE-588)4162334-4 gnd Molekularstrahlepitaxie (DE-588)4170399-6 gnd Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd |
| topic_facet | Galliumnitrid Schichtwachstum Substrat Mikroelektronik Ionenplattieren Molekularstrahlepitaxie Siliciumcarbid Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT sienzstefan ionenstrahlgestutztesynthesevonepitaktischengalliumnitridschichtenaufsiliziumkarbid |