Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Mainz
2004
|
| Edition: | 1. Aufl. |
| Series: | Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe
68 |
| Subjects: | |
| Item Description: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004 |
| Physical Description: | IV, 125 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3861301067 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV019792268 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 050428s2004 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3861301067 |9 3-86130-106-7 | ||
| 035 | |a (OCoLC)179265096 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV019792268 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 | ||
| 082 | 0 | |a 620 | |
| 100 | 1 | |a Papenfuß-Janzen, Norbert |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie |c Norbert Papenfuß-Janzen |
| 246 | 1 | |a Plasmadiagnostik des MSIP Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie | |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Mainz |c 2004 | |
| 300 | |a IV, 125 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe |v 68 | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Massenspektrometrie |0 (DE-588)4037882-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenplattieren |0 (DE-588)4162334-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmadiagnostik |0 (DE-588)4260997-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Energiespektrum |0 (DE-588)4320702-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Ionenplattieren |0 (DE-588)4162334-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Plasmadiagnostik |0 (DE-588)4260997-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Energiespektrum |0 (DE-588)4320702-9 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Massenspektrometrie |0 (DE-588)4037882-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe |v 68 |w (DE-604)BV011312987 |9 68 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013117997 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804133281296285696 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Papenfuß-Janzen, Norbert |
| author_facet | Papenfuß-Janzen, Norbert |
| author_role | aut |
| author_sort | Papenfuß-Janzen, Norbert |
| author_variant | n p j npj |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV019792268 |
| ctrlnum | (OCoLC)179265096 (DE-599)BVBBV019792268 |
| dewey-full | 620 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 620 - Engineering and allied operations |
| dewey-raw | 620 |
| dewey-search | 620 |
| dewey-sort | 3620 |
| dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01822nam a2200469 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV019792268</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">050428s2004 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3861301067</subfield><subfield code="9">3-86130-106-7</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)179265096</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV019792268</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">620</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Papenfuß-Janzen, Norbert</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie</subfield><subfield code="c">Norbert Papenfuß-Janzen</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Plasmadiagnostik des MSIP Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Mainz</subfield><subfield code="c">2004</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 125 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe</subfield><subfield code="v">68</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4037882-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenplattieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162334-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmadiagnostik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260997-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Energiespektrum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4320702-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Ionenplattieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162334-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Plasmadiagnostik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260997-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Energiespektrum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4320702-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4037882-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe</subfield><subfield code="v">68</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV011312987</subfield><subfield code="9">68</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013117997</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV019792268 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T20:06:13Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3861301067 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013117997 |
| oclc_num | 179265096 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | IV, 125 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2004 |
| publishDateSearch | 2004 |
| publishDateSort | 2004 |
| publisher | Mainz |
| record_format | marc |
| series | Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe |
| series2 | Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe |
| spelling | Papenfuß-Janzen, Norbert Verfasser aut Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie Norbert Papenfuß-Janzen Plasmadiagnostik des MSIP Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie 1. Aufl. Aachen Mainz 2004 IV, 125 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe 68 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004 Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 gnd rswk-swf Ionenplattieren (DE-588)4162334-4 gnd rswk-swf Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 gnd rswk-swf Energiespektrum (DE-588)4320702-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s Ionenplattieren (DE-588)4162334-4 s Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 s Energiespektrum (DE-588)4320702-9 s Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 s DE-604 Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe 68 (DE-604)BV011312987 68 |
| spellingShingle | Papenfuß-Janzen, Norbert Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 gnd Ionenplattieren (DE-588)4162334-4 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 gnd Energiespektrum (DE-588)4320702-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4037882-2 (DE-588)4162334-4 (DE-588)4208514-7 (DE-588)4260997-5 (DE-588)4320702-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie |
| title_alt | Plasmadiagnostik des MSIP Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie |
| title_auth | Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie |
| title_exact_search | Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie |
| title_full | Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie Norbert Papenfuß-Janzen |
| title_fullStr | Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie Norbert Papenfuß-Janzen |
| title_full_unstemmed | Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie Norbert Papenfuß-Janzen |
| title_short | Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie |
| title_sort | plasmadiagnostik des msip prozesses mittels energiedispersiver massenspektroskopie |
| topic | Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 gnd Ionenplattieren (DE-588)4162334-4 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 gnd Energiespektrum (DE-588)4320702-9 gnd |
| topic_facet | Massenspektrometrie Ionenplattieren Magnetronsputtern Plasmadiagnostik Energiespektrum Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV011312987 |
| work_keys_str_mv | AT papenfußjanzennorbert plasmadiagnostikdesmsipprozessesmittelsenergiedispersivermassenspektroskopie |