Montage hybrider Mikrosysteme: Handhabungs- und Fügetechniken für die Klein- und Mittelserienfertigung
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Berlin [u.a.]
Springer
2005
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG.
1
2 HANDHABUNG UND JUSTAGE
. 5
2.1 GREIFER UND MONTAGEMASCHINEN
. 7
2.1.1 EINLEITUNG
.
7
2.1.2 PROZESSSICHERHEIT IN DER
MIKROMONTAGE. 8
2.1.3 HANDHABUNGSSYSTEME ZUR AUTOMATISIERTEN MIKROMONTAGE . 15
2.1.4 ZUSAMMENFASSUNG
. 19
LITERATUR
.
20
2.2 PASSIVE JUSTAGE FUER DIE
MONTAGE. 21
2.2.1 EINLEITUNG
.
21
2.2.2 STAND DER
TECHNIK.
22
2.2.3 THEORETISCHE ANALYSE PASSIVER JUSTAGESTRUKTUREN
. 23
2.2.4 EXPERIMENTELLE ANALYSE PASSIVER JUSTAGESTRUKTUREN.
29
2.2.5 ZUSAMMENFASSUNG
. 34
LITERATUR
.
35
2.3 PASSIVE JUSTAGE ZUR PRUEFUNG UND KONTAKTIERUNG
VON MIKROSYSTEMEN
.
39
2.3.1 EINFUEHRUNG UND MOTIVATION
. 39
2.3.2 ANGEWANDTE
METHODEN. 41
2.3.3
ERGEBNISSE.
46
2.3.4 DISKUSSION UND AUSBLICK
. 49
LITERATUR
.
50
2.4 AKTIVE LASERSTRAHLJUSTAGE
. 53
2.4.1 LASERSTRAHLUMFORMEN VON
MIKROSTRUKTUREN. 53
LITERATUR
.
56
3 FUEGEVERFAHREN
.
57
3.1
WEICHAKTIVLOETEN.
59
3.1.1 EINLEITUNG
.
59
VIII INHALTSVERZEICHNIS
3.1.2
ENTWICKLUNG.
60
LITERATUR
.
64
3.2 TRANSIENT LIQUID PHASE BONDING
. 65
3.2.1 GRUNDLAGEN
.
65
3.2.2 ABSCHEIDUNG MITTELS PVD-VERFAHREN UND FUEGUNG MITTELS
LASER- UND ELEKTRONENSTRAHL
. 69
LITERATUR
.
76
3.3
LASERSTRAHL-LOETEN.
79
3.3.1 STAND DER
TECHNIK.
79
3.3.2 LASERSTRAHL-WEICHLOETEN EINES KERAMISCHEN
SCHALTUNGSTRAEGERS.
84
LITERATUR
.
89
3.4
LASERSTRAHLBONDEN.
91
3.4.1
WAFERBONDEN * STAND DER TECHNIK . 91
3.4.2
LASERSTRAHLBONDEN VON SILIZIUM UND GLAS . 91
3.4.3 MIKROSTRUKTURELLE CHARAKTERISIERUNG
. 94
3.4.4 TECHNOLOGISCHE UND MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN.
95
3.4.5 THERMISCH GEREGELTE
PROZESSFUEHRUNG. 99
3.4.6
POTENTIALE DES LASERSTRAHLBONDVERFAHRENS. 101
LITERATUR
.
102
3.5 LASERSTRAHLMIKROSCHWEISSEN
. 103
3.5.1 LASERSTRAHLSCHWEISSEN VON METALLEN
. 103
3.5.2 LASERSTRAHLSCHWEISSEN VON KUNSTSTOFFEN
. 112
LITERATUR
.
121
3.6 ELEKTRONENSTRAHL-SCHWEISSEN
. 123
3.6.1 EINLEITUNG
.
123
3.6.2 TECHNOLOGIE
.
124
3.6.3 STRAHLFUEHRUNGSPRINZIPIEN
. 129
3.6.4 VERFAHRENSABLAUF
. 130
3.6.5
FUEGEBEISPIELE.
131
3.6.6
AUSBLICK.
136
LITERATUR
.
136
3.7 ULTRASCHALLSCHWEISSEN VON KUNSTSTOFFEN
. 137
3.7.1 ENERGIEUMSETZUNG BEIM ULTRASCHALLSCHWEISSEN .
138
3.7.2
MASCHINENTECHNIK.
139
3.7.3
VERFAHRENSVARIANTEN.
140
3.7.4 EINFLUSSFAKTOREN AUF DEN ULTRASCHALLSCHWEISSPROZESS .
141
3.7.5 ULTRASCHALLSCHWEISSGERECHTE KONSTRUKTION DER FUEGETEILE . 141
3.7.6 ANFORDERUNGEN AN EINE MASCHINENTECHNIK
FUER DIE
MIKROTECHNIK.
143
3.7.7 ENTWICKLUNG EINES MASCHINENKONZEPTES
. 143
3.7.8 ENTWICKLUNG EINER GEEIGNETEN PROBEKOERPERGEOMETRIE. 145
INHALTSVERZEICHNIS IX
3.7.9 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN UND PROZESSANALYSE. 146
LITERATUR
.
147
3.8 MIKRO-MONTAGESPRITZGIESSEN
. 149
3.8.1 VERFAHRENSBESCHREIBUNG
. 149
3.8.2 BAUTEILBEISPIELE
.
154
3.8.3 UNTERSUCHUNG DER
VERBUNDFESTIGKEIT. 156
3.8.4
AUSBLICK.
158
LITERATUR
.
158
3.9
MIKROKLEBEN.
161
3.9.1 EINLEITUNG
.
161
3.9.2 KLEBSTOFFE
.
162
3.9.3 PROZESSTECHNIK
.
167
LITERATUR
.
172
4 PROZESSKONTROLLE
.
173
4.1 OFFLINE-VERFAHREN
.
175
4.1.1 EINFUEHRUNG IN DIE LASERSCANNING-MIKROSKOPIE .
176
4.1.3
MEHRANSICHTENMETHODE.
184
4.2 INLINE-VERFAHREN
.
187
4.2.1 BILDVERARBEITUNG
. 187
4.2.2 FASER-OPTIK
.
196
4.2.3 PYROMETRIE
.
207
LITERATUR
.
217 |
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