Johnstone, R. W., & Parameswaran, M. (2004). An introduction to surface micromachining. Kluwer Acad. Publ.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Johnstone, Robert W., und M. Parameswaran. An Introduction to Surface Micromachining. Boston: Kluwer Acad. Publ, 2004.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Johnstone, Robert W., und M. Parameswaran. An Introduction to Surface Micromachining. Kluwer Acad. Publ, 2004.
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