APA (7th ed.) Citation

Hilleringmann, U. (2004). Silizium-Halbleitertechnologie: Mit 19 Tabellen (4., durchges. und erg. Aufl.). Teubner.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Mit 19 Tabellen. 4., durchges. und erg. Aufl. Stuttgart [u.a.]: Teubner, 2004.

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Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Mit 19 Tabellen. 4., durchges. und erg. Aufl. Teubner, 2004.