Hilleringmann, U. (2004). Silizium-Halbleitertechnologie: Mit 19 Tabellen (4., durchges. und erg. Aufl.). Teubner.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Mit 19 Tabellen. 4., durchges. und erg. Aufl. Stuttgart [u.a.]: Teubner, 2004.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Mit 19 Tabellen. 4., durchges. und erg. Aufl. Teubner, 2004.
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