Herstellung und Charakterisierung kovalent gebundener Ein- und Viellagenschichten aus dem System B-C-N-Si:
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| Published: |
Karlsruhe
Inst. für Materialforschung
2004
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt; 6902
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