Haberle, K. (1978). Herstellung und Eigenschaften kathodisch aufgestäubter SiO2 - und SiO2 - polySi-Schichten für die MOS-Technologie.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Haberle, Klaus. Herstellung Und Eigenschaften Kathodisch Aufgestäubter SiO2 - Und SiO2 - PolySi-Schichten Für Die MOS-Technologie. 1978.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Haberle, Klaus. Herstellung Und Eigenschaften Kathodisch Aufgestäubter SiO2 - Und SiO2 - PolySi-Schichten Für Die MOS-Technologie. 1978.
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