Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German English |
| Published: |
2003
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Mannheim, Univ., Diss., 2003. - Enth. Zusammenfassg. in engl. und dt. Sprache |
| Physical Description: | III, 177 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV017770593 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 040112s2003 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 969262108 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)54029118 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV017770593 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger |a eng | |
| 049 | |a DE-29T |a DE-355 |a DE-12 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Thomann, Robert Christian |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen |c von Robert Christian Thomann |
| 264 | 1 | |c 2003 | |
| 300 | |a III, 177 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Mannheim, Univ., Diss., 2003. - Enth. Zusammenfassg. in engl. und dt. Sprache | ||
| 502 | |a Mannheim, Univ., Diss., 2003 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Lithografie |0 (DE-588)4036042-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Holographischer Speicher |0 (DE-588)4160468-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Holographischer Speicher |0 (DE-588)4160468-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Lithografie |0 (DE-588)4036042-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010672391&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010672391 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1807682872728879104 |
|---|---|
| adam_text |
I
NHALTSVERZEICHNIS
I
I
NHALTSVERZEICHNIS
1
E
INLEITUNG
UND
M
OTIVATION
.
1
1.1
ZIELSETZUNG
.
2
1.2
INHALT
UND
GLIEDERUNG
.
3
2
A
LLGEMEINE
G
RUNDLAGEN
.
5
2.1
LICHTAUSBREITUNG
.
5
2.1.1
MAXWELL
'
SCHE
GLEICHUNGEN
UND
KIRCHHOFF
SCHES
INTEGRAL
.
5
2.1.2
NAEHERUNGEN
NACH
HUYGEN,
FRESNEL
UND
FRAUNHOFER
.
8
2.1.3
SPEZIELLE
LOESUNGEN
DER
WELLENGLEICHUNG
.
10
2.1.4
INTENSITAET
.
12
2.2
BEUGENDE
OPTISCHE
ELEMENTE
.
13
2.2.1
BEUGUNG
AM
GITTER
.
13
2.2.2
BEUGUNGSEFFIZIENZ
.
16
2.3
HOLOGRAPHIE
.
17
2.3.1
BELICHTUNG
UND
REKONSTRUKTION
.
17
2.3.2
FOURIERHOLOGRAMME
.
19
2.3.3
COMPUTERGENERIERTE
HOLOGRAMME
.
21
2.3.3.1
BINARISIERUNG
.
22
2.3.3.2
EIGENSCHAFTEN
VON
CGH
.
23
2.4
OPTISCHES
ELEMENT
LINSE
.
24
2.4.1
FOURIER
TRANSFORMATION
.
25
2.4.2
FOKUSSIERUNG
.
26
2.4.3
ABBILDUNGSFEHLER
.
30
3
A
UFGABENSTELLUNG
.
31
3.1
SPEICHERMEDIUM
.
31
3.2
SPEICHERMENGE
.
37
3.3
HOLOGRAPHIE
.
39
3.3.1
SIMULATION
.
40
3.3.2
ANALYTISCHE
HERLEITUNG
.
42
3.4
INDUSTRIELLE
ANWENDUNG
.
46
3.5
SPEZIFIKATION
.
47
4
S
TAND
DER
T
ECHNIK
.
49
4.1
MIKROSTRUKTURIERENDE
METHODEN
.
49
4.2
DIREKTSCHREIBENDE
LITHOGRAPHIESYSTEME
.
53
4.3
KOMMERZIELL
ERHAELTLICHE
LASERLITHOGRAPHEN
.
56
4.4
ZUSAMMENFASSENDE
BEWERTUNG
.
59
S
M
ORPHOLOGIE
DES
L
ITHOGRAPHIESYSTEMS
.
61
5.1
VORUEBERLEGUNG
.
61
5.2
BELICHTUNGSSTRATEGIE
.
62
II
I
NHALTSVERZEICHNIS
5.2.1
SCANBEWEGUNG
.
63
5.2.2
STRUKTURIERUNG
.
65
5.2.3
FAZIT:
FUNKTIONSMODULE
.
66
5.3
STRAHLQUELLE
.
67
5.3.1
AR+UND
KR+LASER
.
69
5.3.2
EXCIMER
LASER
.
70
5.3.3
TI:SAPHIR
LASER
.
70
5.3.4
ND:YAG
UND
NDIGLAS
LASER
.
71
5.3.5
HALBLEITERLASER
.
71
5.3.6
FAZIT
.
72
5.4
OBJEKTIV
.
72
5.4.1
ANFORDERUNGEN
.
72
5.4.2
EXISTIERENDE
OBJEKTIVE
.
75
5.4.3
FAZIT
.
77
5.5
STRAHLABLENKUNG
.
77
5.5.1
ANFORDERUNGEN
.
77
5.5.2
AKUSTO-OPTISCHER
DEFLEKTOR
.
79
5.5.3
ELEKTRO-OPTISCHER
DEFLEKTOR
.
80
5.5.4
POLYGONSCANNER
.
81
5.5.5
TORSIONSBANDSCANNER
.
82
5.5.6
GALVANOSCANNER
.
83
5.5.7
FAZIT
.
84
5.6
POSITIONIERUNG
.
85
5.6.1
POSITIONSDETEKTION
.
87
5.6.2
FAZIT
.
88
5.7
STEUERUNG
.
89
5.7.1
ANFORDERUNGEN
.
89
5.7.2
FAZIT
.
91
5.8
MECHANISCHER
AUFBAU
.
92
5.8.1
FAZIT
.
93
5.9
ZUSAMMENFASSUNG
.
94
6
R
EALISIERUNG
DES
L
ITHOGRAPHIESYSTEMS
.
96
6.1
GESAMTSYSTEM
.
97
6.2
OPTISCHER
AUFBAU
.
98
6.2.1
UEBERBLICK
.
99
6.2.2
AUSLEUCHTUNGSCHARAKTERISTIK
(APODISATION)
.
102
6.2.3
VERZERRUNG
.
105
6.2.4
VIGNETTIERUNG
.
109
6.2.5
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
.
112
6.2.6
POSITIONSDETEKTION
.
115
6.2.7
ZUSAMMENFASSUNG
.
117
6.3
STEUERUNG
.
118
6.3.1
UEBERBLICK
.
119
6.3.2
PROZESSORKARTE
.
121
6.3.3
SIGNAL-UND
TRIGGERKARTE
.
125
6.3.4
HOSTCOMPUTER
.
129
6.3.5
PROZESSABLAEUFE
.
132
I
NHALTSVERZEICHNIS
IN
6.3.5.1
BELICHTUNGSVORGANG
.
132
63.5.2
FEHLERKORREKTUR
.
135
6.3.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
136
6.4
MECHANISCHER
AUFBAU
.
137
7
E
RGEBNIS
.
140
7.1
AUSLESEVORRICHTUNG
.
140
7.2
DATENSPEICHERUNG
.
141
7.3
ANALYSE
DER
BELICHTETEN
STRUKTUR
.
143
7.3.1
BELICHTUNGSPUNKT
.
144
7.3.2
SPECKLE
.
147
7.3.3
INTENSITAETSMESSUNG
.
149
7.4
EINFLUSS
VON
FEHLEM
.
152
7.4.1
POSITIONIERUNGENAUIGKEIT
.
152
7.4.2
VERZERRUNG
.
155
7.4.3
VIGNETTIERUNG
.
156
7.5
VIBRATIONSTEST
.
157
7.6
GRAUWERTBELICHTUNG
.
158
7.7
ZUSAMMENFASSUNG
.
159
8
Z
USAMMENFASSUNG
UND
A
USBLICK
.
162
V
ERZEICHNISSE
.
167
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
.
167
TABELLEN
VERZEICHNIS
.
170
B
IBLIOGRAPHIE
.
171
D
ANKSAGUNG
.
178 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Thomann, Robert Christian |
| author_facet | Thomann, Robert Christian |
| author_role | aut |
| author_sort | Thomann, Robert Christian |
| author_variant | r c t rc rct |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV017770593 |
| ctrlnum | (OCoLC)54029118 (DE-599)BVBBV017770593 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV017770593</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">040112s2003 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">969262108</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)54029118</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV017770593</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield><subfield code="a">eng</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Thomann, Robert Christian</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen</subfield><subfield code="c">von Robert Christian Thomann</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2003</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 177 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Mannheim, Univ., Diss., 2003. - Enth. Zusammenfassg. in engl. und dt. Sprache</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Mannheim, Univ., Diss., 2003</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4036042-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Holographischer Speicher</subfield><subfield code="0">(DE-588)4160468-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Holographischer Speicher</subfield><subfield code="0">(DE-588)4160468-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4036042-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010672391&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010672391</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV017770593 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-18T00:25:27Z |
| institution | BVB |
| language | German English |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010672391 |
| oclc_num | 54029118 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-188 |
| owner_facet | DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-188 |
| physical | III, 177 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2003 |
| publishDateSearch | 2003 |
| publishDateSort | 2003 |
| record_format | marc |
| spelling | Thomann, Robert Christian Verfasser aut Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen von Robert Christian Thomann 2003 III, 177 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Mannheim, Univ., Diss., 2003. - Enth. Zusammenfassg. in engl. und dt. Sprache Mannheim, Univ., Diss., 2003 Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf Lithografie (DE-588)4036042-8 gnd rswk-swf Holographischer Speicher (DE-588)4160468-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Holographischer Speicher (DE-588)4160468-4 s Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s Lithografie (DE-588)4036042-8 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010672391&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Thomann, Robert Christian Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Lithografie (DE-588)4036042-8 gnd Holographischer Speicher (DE-588)4160468-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4221617-5 (DE-588)4036042-8 (DE-588)4160468-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen |
| title_auth | Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen |
| title_exact_search | Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen |
| title_full | Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen von Robert Christian Thomann |
| title_fullStr | Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen von Robert Christian Thomann |
| title_full_unstemmed | Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen von Robert Christian Thomann |
| title_short | Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen |
| title_sort | lithographisches system zur holographischen datenspeicherung in form von mikrohologrammen |
| topic | Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Lithografie (DE-588)4036042-8 gnd Holographischer Speicher (DE-588)4160468-4 gnd |
| topic_facet | Mikrosystemtechnik Lithografie Holographischer Speicher Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010672391&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT thomannrobertchristian lithographischessystemzurholographischendatenspeicherunginformvonmikrohologrammen |