Lithographisches System zur holographischen Datenspeicherung in Form von Mikrohologrammen:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German English |
| Veröffentlicht: |
2003
|
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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I
NHALTSVERZEICHNIS
I
I
NHALTSVERZEICHNIS
1
E
INLEITUNG
UND
M
OTIVATION
.
1
1.1
ZIELSETZUNG
.
2
1.2
INHALT
UND
GLIEDERUNG
.
3
2
A
LLGEMEINE
G
RUNDLAGEN
.
5
2.1
LICHTAUSBREITUNG
.
5
2.1.1
MAXWELL
'
SCHE
GLEICHUNGEN
UND
KIRCHHOFF
SCHES
INTEGRAL
.
5
2.1.2
NAEHERUNGEN
NACH
HUYGEN,
FRESNEL
UND
FRAUNHOFER
.
8
2.1.3
SPEZIELLE
LOESUNGEN
DER
WELLENGLEICHUNG
.
10
2.1.4
INTENSITAET
.
12
2.2
BEUGENDE
OPTISCHE
ELEMENTE
.
13
2.2.1
BEUGUNG
AM
GITTER
.
13
2.2.2
BEUGUNGSEFFIZIENZ
.
16
2.3
HOLOGRAPHIE
.
17
2.3.1
BELICHTUNG
UND
REKONSTRUKTION
.
17
2.3.2
FOURIERHOLOGRAMME
.
19
2.3.3
COMPUTERGENERIERTE
HOLOGRAMME
.
21
2.3.3.1
BINARISIERUNG
.
22
2.3.3.2
EIGENSCHAFTEN
VON
CGH
.
23
2.4
OPTISCHES
ELEMENT
LINSE
.
24
2.4.1
FOURIER
TRANSFORMATION
.
25
2.4.2
FOKUSSIERUNG
.
26
2.4.3
ABBILDUNGSFEHLER
.
30
3
A
UFGABENSTELLUNG
.
31
3.1
SPEICHERMEDIUM
.
31
3.2
SPEICHERMENGE
.
37
3.3
HOLOGRAPHIE
.
39
3.3.1
SIMULATION
.
40
3.3.2
ANALYTISCHE
HERLEITUNG
.
42
3.4
INDUSTRIELLE
ANWENDUNG
.
46
3.5
SPEZIFIKATION
.
47
4
S
TAND
DER
T
ECHNIK
.
49
4.1
MIKROSTRUKTURIERENDE
METHODEN
.
49
4.2
DIREKTSCHREIBENDE
LITHOGRAPHIESYSTEME
.
53
4.3
KOMMERZIELL
ERHAELTLICHE
LASERLITHOGRAPHEN
.
56
4.4
ZUSAMMENFASSENDE
BEWERTUNG
.
59
S
M
ORPHOLOGIE
DES
L
ITHOGRAPHIESYSTEMS
.
61
5.1
VORUEBERLEGUNG
.
61
5.2
BELICHTUNGSSTRATEGIE
.
62
II
I
NHALTSVERZEICHNIS
5.2.1
SCANBEWEGUNG
.
63
5.2.2
STRUKTURIERUNG
.
65
5.2.3
FAZIT:
FUNKTIONSMODULE
.
66
5.3
STRAHLQUELLE
.
67
5.3.1
AR+UND
KR+LASER
.
69
5.3.2
EXCIMER
LASER
.
70
5.3.3
TI:SAPHIR
LASER
.
70
5.3.4
ND:YAG
UND
NDIGLAS
LASER
.
71
5.3.5
HALBLEITERLASER
.
71
5.3.6
FAZIT
.
72
5.4
OBJEKTIV
.
72
5.4.1
ANFORDERUNGEN
.
72
5.4.2
EXISTIERENDE
OBJEKTIVE
.
75
5.4.3
FAZIT
.
77
5.5
STRAHLABLENKUNG
.
77
5.5.1
ANFORDERUNGEN
.
77
5.5.2
AKUSTO-OPTISCHER
DEFLEKTOR
.
79
5.5.3
ELEKTRO-OPTISCHER
DEFLEKTOR
.
80
5.5.4
POLYGONSCANNER
.
81
5.5.5
TORSIONSBANDSCANNER
.
82
5.5.6
GALVANOSCANNER
.
83
5.5.7
FAZIT
.
84
5.6
POSITIONIERUNG
.
85
5.6.1
POSITIONSDETEKTION
.
87
5.6.2
FAZIT
.
88
5.7
STEUERUNG
.
89
5.7.1
ANFORDERUNGEN
.
89
5.7.2
FAZIT
.
91
5.8
MECHANISCHER
AUFBAU
.
92
5.8.1
FAZIT
.
93
5.9
ZUSAMMENFASSUNG
.
94
6
R
EALISIERUNG
DES
L
ITHOGRAPHIESYSTEMS
.
96
6.1
GESAMTSYSTEM
.
97
6.2
OPTISCHER
AUFBAU
.
98
6.2.1
UEBERBLICK
.
99
6.2.2
AUSLEUCHTUNGSCHARAKTERISTIK
(APODISATION)
.
102
6.2.3
VERZERRUNG
.
105
6.2.4
VIGNETTIERUNG
.
109
6.2.5
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
.
112
6.2.6
POSITIONSDETEKTION
.
115
6.2.7
ZUSAMMENFASSUNG
.
117
6.3
STEUERUNG
.
118
6.3.1
UEBERBLICK
.
119
6.3.2
PROZESSORKARTE
.
121
6.3.3
SIGNAL-UND
TRIGGERKARTE
.
125
6.3.4
HOSTCOMPUTER
.
129
6.3.5
PROZESSABLAEUFE
.
132
I
NHALTSVERZEICHNIS
IN
6.3.5.1
BELICHTUNGSVORGANG
.
132
63.5.2
FEHLERKORREKTUR
.
135
6.3.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
136
6.4
MECHANISCHER
AUFBAU
.
137
7
E
RGEBNIS
.
140
7.1
AUSLESEVORRICHTUNG
.
140
7.2
DATENSPEICHERUNG
.
141
7.3
ANALYSE
DER
BELICHTETEN
STRUKTUR
.
143
7.3.1
BELICHTUNGSPUNKT
.
144
7.3.2
SPECKLE
.
147
7.3.3
INTENSITAETSMESSUNG
.
149
7.4
EINFLUSS
VON
FEHLEM
.
152
7.4.1
POSITIONIERUNGENAUIGKEIT
.
152
7.4.2
VERZERRUNG
.
155
7.4.3
VIGNETTIERUNG
.
156
7.5
VIBRATIONSTEST
.
157
7.6
GRAUWERTBELICHTUNG
.
158
7.7
ZUSAMMENFASSUNG
.
159
8
Z
USAMMENFASSUNG
UND
A
USBLICK
.
162
V
ERZEICHNISSE
.
167
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
.
167
TABELLEN
VERZEICHNIS
.
170
B
IBLIOGRAPHIE
.
171
D
ANKSAGUNG
.
178 |
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