Franz, G. (2004). Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik (3. Aufl.). Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Franz, Gerhard. Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik. 3. Aufl. Berlin [u.a.]: Springer, 2004.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Franz, Gerhard. Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik. 3. Aufl. Springer, 2004.
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