Microprocesses and nanotechnology: [15th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2002), ... , Tokyo, Japan from November 6 through 8, 2002]
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Tokyo IPAP 2003
Schriftenreihe:Japanese journal of applied physics / 1 42,6B
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufn. eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:S. 3731 - 4180, 15 S. Ill., graph. Darst.

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