Mehrwellenlängen Interferometrie zur Vermessung diffraktiver optischer Elemente:
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2003
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I
NHALTSVERZEICHNIS
:
1
E
INLEITUNG
UND
Z
USAMMENFASSUNG
.
7
1.1
EINLEITUNG
.
7
1.2
ZUSAMMENFASSUNG
.
9
2
O
PTISCHE
V
ERMESSUNG
DISKONTINUIERLICHER
P
ROFILE
.
13
2.1
EINTEILUNG
DER
MESSMETHODEN
.
13
2.2
INTERFEROMETRISCHE
METHODEN
.
13
2.2.1
DISPERSIVE
INTERFEROMETRIE
.
15
2.2.2
WELLENLAENGEN-SCHIEBENDE
INTERFEROMETRIE
.
17
2.2.3
ANDERE
MEHRWELLENLAENGENMETHODEN
.
18
2.3
NICHT-INTERFEROMETRISCHE
METHODEN
.
19
2.3.1
KONFOKALE
MIKROSKOPIE
.
19
2.3.2
CHROMATISCHE
PROFILOMETER
.
20
3
W
EIBLICHT
-I
NTERFEROMETRIE
.
23
3.1
EINFUEHRUNG
.
23
3.2
DATENAUFNAHME
UND
BERECHNUNGSMETHODEN
.
26
3.3
SIMULATION
VON
WEISSLICHT-INTERFEROGRAMMEN
BEI
VORHANDENEM
DISPERSIONSFEHLER
.
32
3.4
KORREKTURMETHODE
FUER
DEN
DISPERSIONSFEHLER
.
37
4
RGB-I
NTERFEROMETRIE
.
41
4.1
EINFUEHRUNG
.
41
4.2
DATENAUFHAHME
UND
BERECHUNGSMETHODE
.
43
4.3
GRENZEN
DES
VERFAHRENS
.
53
5
D
ESIGN
DES
I
NTERFEROMETERS
.
57
5.1
UEBERBLICK
.
57
5.2
ANFORDERUNGEN
AN
DAS
INTERFEROMETER
.
58
5.2.1
DIE
LATERALE
AUFLOESUNG
DES
INTERFEROMETERS
.
58
5.2.2
SYMMETRIE
DES
INTERFEROMETERS
.
63
5.2.3
DIE
AXIALE
ABTASTUNG
DES
OBJEKTS
.
65
5.3
DIE
BELEUCHTUNGSEINHEIT
.
68
5.3.1
DIE
LICHTQUELLE
.
68
5.3.2
DIE
KOEHLER
'
SCHE
BELEUCHTUNG
DES
INTERFEROMETERS
.
69
5.4
DAS
BREWSTER-LINNIK-INTERFEROMETER
.
73
5.4.1
DER
STRAHLTEILER
.
73
5.4.2
DER
OBJEKTARM
.
76
5.4.3
DER
REFERENZARM
.
78
5.4.4
DIE
ABBILDUNG
UND
DIE
3-CHIP-FARB-CCD-KAMERA
.
79
5.5
DIE
JUSTAGE
DES
LINNIK-INTERFEROMETERS
.
82
5.6
EIN
ANWENDUNGSGEBIET
DES
INTERFEROMETERS
-
DIE
VERMESSUNG
VON
BINAEREN
GITTERN
.
87
6
E
XPERIMENTELLE
E
RGEBNISSE
.
91
6.1
DIE
MESSOBJEKTE
FUER
DEN
TEST
DES
INTERFEROMETERS
.
91
6.2
ERGEBNISSE
MIT
DEM
WEISSLICHT-MODUS
DES
INTERFEROMETERS
.
93
6.3
ERGEBNISSE
MIT
DEM
RGB-MODUS
DES
INTERFEROMETERS
.
95
6.4
VERGLEICH
DER
BEIDEN
METHODEN
.
98
6.5
ABWEICHUNGEN
AN
DEN
KANTEN
.
99
7
A
USBLICK
.
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