Microprocesses and nanotechnology: [14th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2001)]
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Tokyo IPAP 2002
Schriftenreihe:Japanese journal of applied physics / 1 41,6B
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufn. eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:S. 4003 - 4428, 16 S. Ill., graph. Darst.

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