Wellenfrontanalyse mittels diffraktiver optischer Elemente:
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| Published: |
Stuttgart
Institut für Technische Optik der Univ. Stuttgart
2003
|
| Series: | Berichte aus dem Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart
47 |
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| Item Description: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002. - Enth. Zsfassung in engl. und dt. Sprache. |
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INHALTSVERZEICHNIS
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
VI
TABELLENVERZEICHNIS
IX
ZEICHENERKLAERUNG
X
ABSTRACT
1
1
EINLEITUNG
7
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
9
2.1
BEUGUNGSTHEORIE
.
9
2.1.1
DIE
FRESNELNAEHERUNG
.
12
2.2
GRUNDLAGEN
DER
HOLOGRAPHIE
.
13
2.3
BEUGUNGSEFFIZIENZ
HOLOGRAPHISCHER
STRUKTUREN
.
15
2.4
ABERRATIONEN
HOLOGRAPHISCHER
ELEMENTE
.
20
2.4.1
ABERRATIONEN
VON
GITTERN
IN
PARAXIALER
NAEHERUNG
.
23
2.5
LASERSTRAHLEIGENSCHAFTEN
.
25
3
WELLENFRONTANALYSE
MIT
DEM
SHACK-HARTMANN
SENSOR
29
3.1
FUNKTIONSPRINZIP
DES
SHACK-HARTMANN
SENSORS
.
30
3.2
INTERNE
REFERENZIERUNG
DES
SHACK-HARTMANN
SENSORS
.
32
3.3
DER
SHACK-HARTMANN
SENSOR
ZUR
LASERSTRAHLCHARAKTERISIERUNG
.
39
IV
INHALTSVERZEICHNIS
3.4
DER
SHACK-HARTMANN
SENSOR
MIT
CCD-KAMERA
ALS
DETEKTOR
.
40
3.4.1
AUSWERTUNG
DER
GEMESSENEN
CCD-BILDER
.
41
3.4.2
KONSTRUKTION
UND
OPTISCHES
DESIGN
DES
SENSORS
MIT
CCD-KAMERA
44
3.4.3
INTERNE
REFERENZ
DES
SENSORS
MIT
CCD-KAMERA
.
49
3.4.4
DYNAMIKERWEITERUNG
DES
SHACK-HARTMANN
SENSORS
.
53
3.4.5
MESSUNGEN
MIT
DEM
SHACK-HARTMANN
SENSOR
.
65
3.4.5.1
DUV
SHACK-HARTMANN
SENSOR
.
67
3.4.5.2
UV
SHACK-HARTMANN
SENSOR
.
72
3.4.5.3
SHACK-HARTMANN
SENSOR
FUER
HENE-LASER
.
74
3.4.6
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
LASERSTRAHLCHARAKTERISIERUNG
MIT
DEM
SHACK-HARTMANN
SENSOR
.
82
4
STRAHLCHARAKTERISIERUNG
IN
DER
CO
2
-LASERMATERIALBEARBEITUNG
86
4.1
DER
SHACK-HARTMANN
SENSOR
IN
DER
CO2~LASERDIAGNOSTIK
.
87
4.1.1
FUNKTIONSAUFBAU
DES
CO
2
SHACK-HARTMANN
SENSORS
.
87
4.1.2
AUSWERTUNG
DER
MESSSIGNALE
.
89
4.1.3
BERECHNUNG
UND
FERTIGUNG
DER
DIAGNOSEHOLOGRAMME
.
92
4.1.3.1
REKONSTRUKTION
DER
DIAGNOSEHOLOGRAMME
.
94
4.1.4
TECHNISCHE
AUSLEGUNG
DES
SHACK-HARTMANN
SENSORS
.
95
4.1.4.1
KONSTRUKTION
DES
SHACK-HARTMANN
SENSOR
MODULS
.
.
95
4.1.4.2
DAS
DETEKTORARRAY
.
96
4.1.5
MESSUNGEN
MIT
DEM
CO
2
SHACK-HARTMANN
SENSOR
.
97
4.2
AUTOFOKUS
FUER
CO
2
-LASERMASCHINEN
.
102
4.2.1
FUNKTIONSPRINZIP
DES
AUTOFOKUSSENSORS
.
103
4.2.2
DESIGN
UND
HERSTELLUNG
DES
AUTOFOKUSHOLOGRAMMS
.
105
4.2.3
BERECHNUNG
DER
PHASENVERTEILUNG
DES
DIAGNOSEHOLOGRAMMS
.
.
.
108
4.2.4
FERTIGUNG
DES
AUTOFOKUSHOLOGRAMMS
.
111
4.2.4.1
REKONSTRUKTION
DES
DIAGNOSEHOLOGRAMMS
.
112
INHALTSVERZEICHNIS
V
4.2.5
KONSTRUKTION
UND
TECHNISCHE
AUSLEGUNG
DES
AUTOFOKUSSENSORS
.
114
4.2.5.1
KONSTRUKTION
DES
AUTOFOKUSMODULS
.
114
4.2.5.2
AUSLEGUNG
DES
DETEKTORSYSTEMS
.
117
4.2.6
MESSERGEBNISSE
DES
AUTOFOKUSSENSORS
.
118
5
HOLOGRAMMFERTIGUNG
123
5.1
MASKENFERTIGUNG
.
125
5.2
KUPFERHOLOGRAMME
.
126
5.2.1
SCHWEFELSAURES
GLANZKUPFERGALVANISCHES
BAD
.
127
5.2.2
UNTERSUCHUNG
DER
GALVANISCH
AUFGEBAUTEN
STRUKTUREN
.
129
5.2.3
KUEHLBARE
HOCHLEISTUNGSLASERHOLOGRAMMSPIEGEL
.
135
5.3
QUARZAETZTECHNIK
.
136
5.4
FERTIGUNGSFEHLER
.
137
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
139
LITERATUR
141
A
ANHANG
148
A.L
ZERNIKE
POLYNOME
.
148
A.2
DER
RMS-WERT
UND
DAS
STREHL
VERHAELTNIS
.
152
A.3
TECHNISCHE
DATEN
DER
VERWENDETEN
CCD-KAMERA
PULNIX
TM-765
.
.
.
153
DANKSAGUNG
154 |
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