Untersuchungen zum elastomechanischen Verhalten dünner Diamantschichten unterschiedlicher Mikrogefüge mit dem akustischen Rastermikroskop:
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| Published: |
Aachen
Shaker
2003
|
| Series: | Berichte aus der Physik
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
DIAMANT
UND
DIAMANTSCHICHTHERSTELLUNG
8
2.1
ELASTOMECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
8
2.1.1
YOUNG-MODUL
ODER
ELASTIZITAETSMODUL
9
2.1.2
SCHERMODUL
10
2.2
MESSVERFAHREN
ZUR
BESTIMMUNG
ELASTOMECHANISCHER
11
EIGENSCHAFTEN
2.3
ELASTOMECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
VON
HARTEN
MATERIALIEN
12
2.4
DIAMANTSTRUKTUREN
13
2.4.1
ATOM
UND
KRISTALLSTRUKTUR
VON
GRAPHIT,
AMORPHEM
13
KOHLENSTOFF,
DIAMANT
UND
FULLERENEN
2.4.2
NANOKRISTALLINER
DIAMANT
18
2.5
KONVENTIONELLE
HERSTELLUNGSVERFAHREN
VON
DIAMANTSCHICHTEN
19
2.6
EIGENE
HERSTELLUNG
NANOKRISTALLINER
DIAMANTSCHICHTEN
22
2.6.1
BESCHICHTUNGSANLAGE
22
2.6.2
MECHANISMEN
BEI
DER
CVD-DIAMANTABSCHEIDUNG
IN
24
H2-ARMEN
PLASMEN
2.6.3
NUKLEATION
DER
SUBSTRATE
27
2.7
HERSTELLUNG
AMORPHER
DIAMANTSCHICHTEN
30
2.7.1
BESCHICHTUNGSANLAGE
30
3
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
FUER
DUENNE
SCHICHTEN
32
3.1
FUNKTIONSPRINZIP
DER
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
32
3.2
P-HAERTEMESSUNG
36
3.3
HOCHAUFLOESENDE
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
39
3.4
HOCHAUFLOESENDE
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
40
3.5
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
42
3.5.1
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
43
3.5.2
P-HAERTEMESSUNG
46
INHALTSVERZEICHNIS
3.5.3
HOCHAUFLOESENDE
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
49
3.5.4
HOCHAUFLOESENDE
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
51
4
AKUSTISCHE
RASTERMIKROSKOPIE
55
4.1
FUNKTIONSPRINZIP
DER
AKUSTISCHEN
RASTERMIKROSKOPIE
55
4.2
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
58
4.3
ABBILDUNGEN
VON
TIEFENSTRUKTUREN
UND
EINDRINGVERMOEGEN
60
4.4
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
UEBER
DIE
MIKROANALYSE
DURCH
V(Z)
62
4.4.1
KONTRASTMECHANISMEN
63
4.4.2
V(Z)-KONTRAST
ODER
ZWEI-STRAHL-MODELL
64
4.4.3
V(Z)-INTEGRAL
66
4.4.4
AUSWERTUNG
DES
V(Z)-INTEGRALS
66
4.5
MIKROCHARAKTERISIERUNG
DUENNER
SCHICHTEN
MIT
DEM
SAM
68
4.5.1
EIN
KURZER
ABRISS
DER
THEORIE
69
4.6
ENTWICKLUNG
DES
ELMA-MESSVERFAHRENS
71
4.6.1
MESSTECHNIK
72
4.6.2
DURCHFUEHRUNG
VON
V(Z)-MESSUNGEN
72
4.6.3
BESCHREIBUNG
DES
ELMA-MESSVERFAHRENS
73
4.6.4
SAW
DISPERSION
74
4.6.5
EXPERIMENT
75
4.6.6
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
76
5
UNTERSUCHUNGEN
DER
DIAMANTSCHICHTEN
MIT
DEM
AKUSTISCHEN
80
RASTERMIKROSKOP
5.1
UNTERSUCHUNGEN
AN
AMORPHEN
DIAMANTSCHICHTEN
80
5.1.1
EXPERIMENT
82
5.1.2
ERGEBNISSE
83
5.2
UNTERSUCHUNGEN
AN
NANOKRISTALLINEN
DIAMANTSCHICHTEN
88
5.2.1
BESCHREIBUNG
DER
PROBEN
89
5.2.2
BESTIMMUNG
DER
ELASTOMECHANISCHEN
EIGENSCHAFTEN
90
MITTELS
V(Z)-KONTRAST
INHALTSVERZEICHNIS
5.2.3
BESTIMMUNG
DER
ELASTOMECHANISCHEN
EIGENSCHAFTEN
93
UNTER
VERWENDUNG
ALTERNATIVER
KOPPLUNGSMEDIEN
5.2.4
BESTIMMUNG
DER
ELASTOMECHANISCHEN
EIGENSCHAFTEN
94
IM
BILDMODUS
DES
SAM
6
BEWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
98
6.1
BEWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
DER
AMORPHEN
DIAMANTSCHICHTEN
98
6.2
BEWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
DER
NANOKRISTALLINEN
DIAMANTSCHICHT
100
SYSTEME
6.2.1
ELASTOMECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
UND
HAERTE
DER
SCHICHTEN
100
6.2.2
OBERFLAECHE
UND
TRIBOLOGIE
101
6.2.3
KRISTALLSTRUKTUR
102
6.3
DISKUSSION
103
7
ZUSAMMENFASSUNG
106
8
AUSBLICK
108
ANHANG
110
LITERATURVERZEICHNIS
116 |
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