Selbstassemblierte Nanostrukturierung ultradünner Silizidschichten und Entwicklung von Nano-MOSFET-Bauelementen - Kluth, Patrick 1968- (2002)
Aachen, Techn. Univ., Diss., 2002. - Auch als: Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3994