Konfokale Mikroskopie zur Topografiebestimmung technischer Oberflächen:
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Stuttgart
Institut für Technische Optik
2002
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44 |
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INHALTSVERZEICHNIS
5
INHALTSVERZEICHNIS
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
9
ABSTRACT
13
1
EINLEITUNG
23
2
DAS
KONFOKALE
PRINZIP
29
2.1
THEORIE
DER
KONFOKALEN
ABBILDUNG
29
2.2
DIE
KONFOKALE
ABBILDUNG
BEI
TYP
II-SYSTEMEN
32
3
DAS
KONFOKALE
VERFAHREN
MIT
MIKROLINSEN-ARRAYS
34
3.1
BESCHREIBUNG
DES
MESSPRINZIPS
34
3.2
SIGNALAUSWERTUNG
41
3.2.1
SCHWERPUNKTSBERECHNUNG
41
3.2.2
PARABELANPASSUNG
42
4
THEORIE
DER
KONFOKALEN
MIKROSKOPIE
MIT
MIKROLINSEN-ARRAYS
44
4.1
BESCHREIBUNG
DER
ABBILDUNG
45
4.2
BERECHNUNG
DER
WELLENFRONT
HINTER
DEM
MIKROLINSEN-ARRAY
49
4.3
BETRACHTUNG
EINES
KONFOKALEN
SYSTEMS
MIT
EINER
MIKROLINSE
51
5
VERGROESSERUNG
DES
ARBEITSABSTANDES
53
5.1
BESCHREIBUNG
DES
AUFBAUS
53
5.2
MESSERGEBNIS
60
6
STEIGERUNG DER
LATERALEN
AUFLOESUNG
61
6.1
DIE
STATISCHE
METHODE
61
6.1.1
KEILPROBLEMATIK
67
6.2
DIE
DYNAMISCHE
METHODE
MIT
BEWEGTEM
MIKROLINSEN-ARRAY
69
6.2.1
SIMULATION
DER
BEWEGUNG
69
6.2.2
KONSTRUKTIVE
AUSFUEHRUNG
DER
MIKROLINSENBEWEGUNG
77
6.3
DIE
DYNAMISCHE
METHODE
MIT
ROTIERENDER
MIKROLINSENSCHEIBE
78
6
INHALTSVERZEICHNIS
7
MESSUNG
AUF
GROSSEN
OBJEKTFELDERN
83
8
DAS
CHROMATISCHE
MESSVERFAHREN
MIT
MIKROLINSEN
86
8.1
EINLEITUNG
86
8.2
BESCHREIBUNG
DES
CHROMATISCHEN
VERFAHRENS
MIT
MIKROLINSEN-ARRAYS
87
8.2.1
CHROMATISCHES
VERFAHREN
MIT
LASERDIODEN
87
8.2.2
WEITERENTWICKLUNG
DES
CHROMATISCHEN
VERFAHRENS
MIT
WEISSLICHTQUELLE
94
UND
FARB-CCD-KAMERA
9
RECHNUNG
UND
HERSTELLUNG
VON
MIKROLINSEN
100
9.1
REFRAKTIVE
MIKROLINSEN
100
9.2
DIFFTAKTIVE
MIKROLINSEN
102
9.2.1
BERECHNUNG
DIFFRAKTIVER
MIKROLINSEN
104
10
ANPASSUNG
DER
MIKROLINSEN
AN
GEKRUEMMTE
OBERFLAECHEN
106
10.1
ANPASSUNG
AN
ZYLINDERFLAECHEN
106
10.2
OFF-AXIS-MIKROLINSEN
112
10.2.1
BERECHNUNG
VON
OFF-AXIS-MIKROLINSEN
112
10.2.2
ANPASSUNG
AN
SPHAEREN
113
10.2.3
VARIATION
DER
PRUEFLINGSBRENNWEITE
118
10.2.4
VARIATION
DER
WELLENLAENGE
119
11
KONSTRUKTION
DES
KONFOKALEN
MIKROSKOPS
121
11.1
AUSWAHL
DER
LICHTQUELLE
121
11.2
BERECHNUNG
DER
GENUTZTEN
LICHTLEISTUNG
DER
LEUCHTDIODE
IM
123
KONFOKALEN
MIKROSKOP
11.3
BERECHNUNG
DER
LEISTUNG
IM
SICHTBAREN
SPEKTRALBEREICH
DER
LED
125
11.4
KONFEKTIONIERUNG
VON
LEDS
FUER
DIE
KONFOKALE
MIKROSKOPIE
127
11.5
AUFBAU
DES
KONFOKALEN
MIKROSKOPS
129
12
KALIBRIERUNG
134
13
AUSWERTUNG
DER
MESSERGEBNISSE
137
13.1
GRUNDLAGEN
DER
RAUHEITSBERECHNUNG
MIT
TASTSCHNITTGERAETEN
137
INHALTSVERZEICHNIS
7
13.2
BERECHNUNG
VON
RAUHEITSKENNWERTEN
FLAECHENHAFTER
OPTISCHER
139
MESSUNGEN
13.3
BESCHREIBUNG
DER
VORGESTELLTEN
VERFAHREN
MIT
DEM
STEDMAN-DIAGRAMM
141
14
ZUSAMMENFASSUNG
UND AUSBLICK
144
15
LITERATURVERZEICHNIS
146
ANHANG
I
BAUELEMENTE
DES
KONFOKALEN
MIKROSKOPS
151
ANHANG
II
MINIATURISIERUNG
DES
SENSORS
158
LEBENSLAUF
161
DANKSAGUNG
163 |
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