Streulicht- und ellipsometrische Messungen mit hoher lateraler Auflösung unter endlicher Messapertur:
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| Published: |
Berlin
Techn. Univ., Univ.-Bibliothek, Abt. Publ.
2002
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
1.
EINLEITUNG
1
2.
CHARAKTERISIERUNG
POLIERTER
OPTISCHER
FLAECHEN
4
2.1.
BESCHREIBUNG
VON
OBERFLAECHEN
4
2.1.1.
PASSFEHLER
2.1.2.
RESTRAUHEIT
2.2.
BESCHREIBUNG
VON
OBERFLAECHENSCHICHTEN
9
2.2.1.
POLIERSCHICHTEN
2.3.
PERFEKTE
UND
REALE
MESSUNG
12
3.
STREULICHTMESSUNGEN
18
3.1.
LICHTSTREUUNG
AN
RAUHEN
OBERFLAECHEN
18
3.2.
STREULICHT
UND
LEISTUNGSDICHTESPEKTRUM
19
3.3.
TOTALE
STREULICHTMESSUNG
23
3.4.
AUFBAU
UND
MESSUNG
25
3.5.
ERWEITERUNG
AUF
NICHT
PLANE
FLAECHEN
28
4.
ELLIPSOMETRIE
AN
POLIERSCHICHTEN
31
4.1.
SCHICHTSYSTEME
AUF
ISOTROPEN
SUBSTRATEN
31
4.1.1.
VORWAERTSRECHNUNG
FUER
SCHICHTSYSTEME
4.1.2.
DAS
KOMPLEXE
REFLEXIONSVERHAELTNIS
P
=
X
+
IY
4.2.
AUFBAU
UND
MESSUNG
38
4.2.1.
ELLIPSOMETRIE
MIT
DEM
ZWEIEBENENANALYSATOR
4.2.2.
MESSUNG
DER
REFLEXIONSGRADE
4.2.3.
SPEKTRALE
MESSUNG
4.3.
ERWEITERUNG
DER
MESSUNG
AUF
NICHT
PLANE
FLAECHEN
56
4.4.
AUSWERTUNG
DER
ELLIPSOMETRISCHEN
MESSUNGEN
62
4.4.1.
ANPASSUNG
DER
PARAMETER
DES
SCHICHTSYSTEMS
AN
DIE
MESSUNGEN
4.4.2.
WAHL
DER
FEHLERFUNKTION
4.4.3.
VARIABLE
WIRKSAMKEIT
UND
KONVERGENZ
4.4.4.
BERUECKSICHTIGUNG
DER
ENDLICHEN
MESSAPERTUR
UND
DES
STRAHLPROFILS
4.4.5.
VERLASSEN
LOKALER
MINIMA
4.4.6.
STEIGERUNG
DER
KONVERGENZ
DURCH
KONJUGIERTE
GRADIENTEN
5.
DIFFERENTIELLE
INTERFERENZKONTRAST
-
MIKROSKOPIE
75
5.1.
QUALITATIVER
DIFFERENTIELLER
INTERFERENZKONTRAST
75
5.2.
QUANTITATIVER
DIFFERENTIELLER
INTERFERENZKONTRAST
77
5.3.
REALISIERUNG
77
5.4.
MESSUNG
UND
BILDVERARBEITUNG
78
5.5.
MESSUNG
NICHT
PLANER
OBERFLAECHEN
84
INHALTSVERZEICHNIS
6.
INTERFEROMETRISCHE
MESSUNGEN
92
6.1.
PLANFLAECHENMESSUNGEN
93
6.2.
MESSUNGEN
AN
SPHAERISCHEN
FLAECHEN
93
7.
AUSWAHL,
BEARBEITUNG
UND
VORBEREITUNG
DER
PROBEN
95
7.1.
VARIATION
DES
POLIERMITTELTRAEGERS
96
7.2.
POLIERPARAMETER
98
7.3.
POLIEREN
VON
SPHAERISCHEN
UND
PLANEN
FLAECHEN
99
7.4.
REINIGUNG
DER
OBERFLAECHEN
99
8.
MESSERGEBNISSE
100
8.1.
FESTLEGUNG
DES
MESSPROGRAMMS
100
8.2.
ERGEBNISSE
DER
MESSVERFAHREN
101
8.2.1.
STREULICHTMESSUNG
8.2.2.
ELLIPSOMETRIE
8.2.3.
QUANTITATIVER
DIFFERENTIELLER
INTERFERENZKONTRAST
8.2.4.
INTERFEROMETRIE
8.3.
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
113
9.
ZUSAMMENFASSUNG
117
10.
LITERATURVERZEICHNIS
UND
BEZUGSQUELLEN
119
ANHANG:
A1
:
FUNKTIONEN
UND
DEFINITIONEN
124
A2:
BETRACHTUNGEN
ZUM
FERMATSCHEN
PRINZIP
125
A3:
UEBERTRAGUNGSFUNKTIONEN
LATERALER
MESSVERFAHREN
127
DANKSAGUNG
130
LEBENSLAUF
131 |
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