Franz, G. (2002). Streulicht- und ellipsometrische Messungen mit hoher lateraler Auflösung unter endlicher Messapertur. Techn. Univ., Univ.-Bibliothek, Abt. Publ.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Franz, Gerald. Streulicht- Und Ellipsometrische Messungen Mit Hoher Lateraler Auflösung Unter Endlicher Messapertur. Berlin: Techn. Univ., Univ.-Bibliothek, Abt. Publ, 2002.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Franz, Gerald. Streulicht- Und Ellipsometrische Messungen Mit Hoher Lateraler Auflösung Unter Endlicher Messapertur. Techn. Univ., Univ.-Bibliothek, Abt. Publ, 2002.
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