Bearbeitungsstrategien für die lasergestützte 3D-Mikrostrukturierung technischer Keramik:
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| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2002
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Fortschrittberichte VDI
Reihe 2, Betriebstechnik ; 621 |
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| Item Description: | Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2002 |
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INHALTSVERZEICHNIS
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
VII
ABSTRACT
XI
1
EINLEITUNG
1
2
STAND
DER
TECHNIK
UND
DES
WISSEN
3
2.1
TECHNISCHE
KERAMIKEN
IN
DER
MIKROTECHNIK
3
2.2
KONVENTIONELLE
TECHNIKEN
FUER
DIE
STRUKTURIERUNG
TECHNISCHER
KERAMIK
7
2.3
LASERGESTUETZTE
VERFAHREN
FUER
DIE
3D-MIKROSTRUKTURIERUNG
VON
KERAMIKEN
11
2.3.1
ALLGEMEINES
11
2.3.2
ABTRAG
MIT
FREQUENZKONVERTIERTEN
ND:
YAG
LASERN
12
2.3.3
ABTRAG
MIT
EXCIMERLASERN
13
2.3.3.1
MECHANISMEN
DES
KERAMIKABTRAGS
13
2.3.3.2
FERTIGUNGSTECHNIKEN
FUER
DIE
MIKROSTRUKTURIERUNG
19
2.4NC-DATENGENERIERUNG
UND
STEUERUNGSKONZEPTE
FUER
DIE
23
FLEXIBLE
3D-MIKROSTRUKTURIERUNG
3
AUFGABENSTELLUNG
26
4
VORGEHENSWEISE
ZUR
LOESUNG
27
4.1
GEPLANTE
VORGEHENSWEISE
27
4.2
VERFAHRENSBESCHREIBUNG
29
4.3
VERSUCHSAUFBAU
UND
ANLAGENTECHNIK
32
4.4
VERSUCHSWERKSTOFFE
36
4.5
DEFINITION
ZU
FERTIGENDER
GRUNDTYPEN
37
4.6
MESSTECHNISCHE
AUSWERTUNG
DER
UNTERSUCHUNGEN
39
4.7
FEHLERBETRACHTUNG
42
VI
I
NHALTSVERZEICHNIS
5
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
ABTRAGSVERHALTEN
45
6
OPTIMIERUNG
DER
QUALITAET
UND
BEARBEITUNGSZEIT
55
6.1
ANSAETZE
ZUR
OPTIMIERUNG
55
6.2
MODELLIERUNG
DES
WERKSTUECKS
56
6.3
MINIMIERUNG
DER
ANZAHL
DER
LASERPULSE
57
6.3.1
STRATEGIEN
UND
ALGORITHMEN
57
6.3.2
ANPASSUNG
UND
LEISTUNGSNACHWEIS
DURCH
SIMULATION
63
6.4
WEGOPTIMIERUNG
68
6.4.1
STRATEGIEN
UND
ALGORITHMEN
68
6.4.2
LEISTUNGSNACHWEIS
DURCH
SIMULATION
72
6.5
OPTIMIERUNG
DER
BAUTEILGEOMETRIE
77
6.5.1
MASSNAHMEN
ZUR
MINIMIERUNG
DER
OBERFLAECHENRAUHEIT
78
6.5.2
MASSNAHMEN
ZUM
ERZIELEN
STEILER
FLANKEN
89
7
UMSETZUNG
DER
STRATEGIEN
ZUR
OPTIMIERTEN
MIKROSTRUKTURIERUNG
92
7.1
IMPLEMENTATION
DER
STRATEGIEN
IN
EINE
AUTOMATISIERTE
NC-
DATENGENERIERUNG
92
7.2
ZUSAMMENFUEHRUNG
DER
OPTIMIERUNGSSTRATEGIEN
95
7.2.1
KOMBINATION
DER
OPTIMIERTEN
WEGBERECHNUNG
MIT
DER
MINIMIERUNG
DER
ABTRAGSANZAHL
96
7.2.2
KOMBINATIONEN
MIT
TECHNIKEN
ZUR
OPTIMIERUNG
DER
BAUTEILQUALITAET
101
8
ANWENDUNG
DER
TECHNIKEN
BEI
DER
HERSTELLUNG
VON
3D-STRUKTUREN
106
9
BEDEUTUNG
FUER
DIE
PRAXIS
108
9.1
ANWENDUNGSBEISPIELE
108
9.2
BEWERTUNG
DER
ENTWICKELTEN
STRATEGIEN
111
9.3
ENTWICKLUNGSPOTENTIALE
113
10
ZUSAMMENFASSUNG
116 |
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