Elementare Mechanismen bei der Wechselwirkung von Methylradikalen und Wasserstoffatomen mit der Oberfläche amorpher Kohlenwasserstoff-Filme: = Elementary mechanisms during interaction of methyl radicals and hydrogen atoms with the surface of amorphous hydrocarbon films
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| Language: | German |
| Published: |
Garching bei München
Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik
2002
|
| Edition: | Als Ms. des Autors gedr. |
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| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
1
1
GRUNDLAGEN
3
1.1
AMORPHE
KOHLENWASSERSTOFF-FILME
.
3
1.2
ELEMENTARMECHANISMEN
.
8
2
EXPERIMENT
14
2.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
14
2.2
RADIKALTEILCHENQUELLEN
.
15
2.3
ELLIPSOMETRIE
.
20
2.4
INFRAROTSPEKTROSKOPIE
.
22
3
ADSORPTION
VON
CH3
26
3.1
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
26
3.2
MODELL
ZUR
WECHSELWIRKUNG
VON
CH3
MIT
EINER
A-C:H
OBERFLAECHE
.
39
4
SYNERGISTISCHES
WACHSTUM
48
4.1
FLUSSABHAENGIGKEIT
DES
SYNERGISTISCHEN
WACHSTUMS
.
48
4.2
MODELL:
H-ELIMINIERUNG
UND
VERNETZUNG
.
50
4.3
DYNAMIK
DES
SYNERGISTISCHEN
WACHSTUMS
.
57
5
BAYES
'
SCHE
DATENANALYSE
67
5.1
GRUNDLAGEN
.
67
5.2
IMPLEMENTATION
.
72
5.3
ERGEBNISSE
.
76
6
DISKUSSION
88
6.1
WECHSELWIRKUNG
VON
CH3
UND
H
MIT
A-C:H
OBERFLAECHEN
.
88
6.2
SCHLUSSFOLGERUNGEN
AUS
DER
DATENANALYSE
.
94
INHALTSVERZEICHNIS
6.3
VORSCHLAEGE
FUER
WEITERFUEHRENDE
EXPERIMENTE
.
100
ZUSAMMENFASSUNG
I
A
BAYES
'
SCHE
DATENANALYSE
UND
MCMC-VERFAHREN
I
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