Lokale Metallisierung von AlN-Keramik mittels Laserstrahlung:
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| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2002
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Fortschrittberichte VDI
Reihe 2, Betriebstechnik ; 618 |
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I
NHALTSVERZEICHNIS
V
INHALTSVERZEICHNIS
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
.
VH
ABSTRACT
.
XH
1
EINLEITUNG
.
1
2
STAND
DER
TECHNIK
UND
DES
WISSENS
.
2
2.1
KERAMISCHE
WERKSTOFFE
FUER
DIE
AUFBAU
UND
VERBINDUNGSTECHNIK
.
2
2.1.1
BESCHREIBUNG
KERAMISCHER
WERKSTOFFE
.
2
2.1.2
SUBSTRATMATERIALIEN
FUER
DIE
AUFBAU
UND
VERBINDUNGSTECHNIK
.
4
2.1.3
WERKSTOFFSYSTEM
ALUMINIUMNITRID
.
8
2.2
METALLISIERUNGSTECHNIKEN
FUER
AIN-KERAMIKEN
.
11
2.2.1
DUENNSCHICHTMETALLISIERUNG
.
12
2.2.2
DICKSCHICHTMETALLISIERUNG
.
17
2.2.3
DIRECT
COPPER
BONDING
.
18
2.2.4
AKTIVLOTTECHNIK
.
19
2.2.5
LASERUNTERSTUETZTE
METALLISIERUNG
.
20
2.2.5.1
LASERINDUZIERTE
VERFAHREN
.
21
2.2.5.2
LASERAKTIVIERTE
VERFAHREN
.
23
23
FESTKOERPERPHYSIKALISCHE
ASPEKTE
VON
KERAMISCHEN
MATERIALIEN
.
27
2.3.1
ELEKTRISCHE
LEITFAEHIGKEIT
.
27
2.3.2
THERMISCHE
LEITFAEHIGKEIT
.
28
2.4
CHARAKTERISIERUNG
DUENNER
METALLISCHEN
OBERFLAECHENSCHICHTEN
.
30
2.4.1
HAFTFESTIGKEITSBESTIMMUNG
.
30
2.4.2
ELEKTRISCHE
WIDERSTANDSMESSUNG
VON
DUENNEN
SCHICHTEN
.
32
3
AUFGABENSTELLUNG
.
34
4
VERSUCHSTECHNIK
.
35
4.1
VORGEHENSSYSTEMATIK
.
35
4.2
VERSUCHSWERKSTOFF
.
36
.
43
VERSUCHSANLAGEN
.
38
4.3.1
VERSUCHSTECHNIK
BEI
VERWENDUNG
VON
EXCIMERLASERSTRAHLUNG
.
39
4.3.2
VERSUCHSTECHNIK
BEI
VERWENDUNG
VON
TIISAPHIR-LASERSTRAHLUNG
.
41
4.3.3
VERSUCHSTECHNIK
BEI
VERWENDUNG
VON
TEA-CO2-LASERSTRAHLUNG
.
42
4.4
MESSVERFAHREN
ZUR
BESTIMMUNG
DES
ELEKTRISCHEN
WIDERSTANDES
.
44
4.5
UNTERSUCHUNG
DER
CHEMISCHEN
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
.
45
4.5.1
ENERGIEDISPERSIVE
ROENTGENSPEKTROSKOPIE
(EDX)
.
45
4.5.2
ROENTGEN-PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
45
4.6
MESSVERFAHREN
ZUR
BEWERTUNG
DER
HAFTFESTIGKEIT
.
46
4.6.1
KLEBEBAND-TEST
.
46
4.6.2
HAERTPRUEFKOERPER-EINDRING-TEST
.
47
VI
F
ORMELZEICHEN
UND
A
BKUERZUNGEN
5
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
AKTIVIERUNG
VON
AIN-KERAMIK
.
48
5.1
AUSWAHL
DES
VERSUCHSWERKSTOFFES
.
48
5.2
OBERFLAECHENAKTIVIERUNG
MITTELS
EXCIMERLASERSTRAHLUNG
.
50
5.2.1
DARSTELLUNG
DES
AKTIVIERUNGS
UND
ABTRAGSVERHALTENS
.
51
5.2.1.1
VERWENDUNG
VON
FJ-LASERSTRAHLUNG
.
54
5.2.1.2
VERWENDUNG
VON
KRF-LASERSTRAHLUNG
.
56
5.2.1.3
VERWENDUNG
VON
XEF-LASERSTRAHLUNG
.
59
5.2.2
ANALYSE
DER
ZUSAMMENSETZUNG
UND
DICKE
AKTIVIERTER
OBERFLAECHEN
.
62
5.2,3
EINFLUSS
DER
BEARBEITUNGSATMOSPHAERE
AUF
DEN
AKTIVIERUNGSPROZESS
.
68
5.3
OBERFLAECHENAKTIVIERUNG
MITTELS
TI:SAPHIR-LASERSTRAHLUNG
.
73
5.4
OBERFLAECHENAKTIVIERUNG
MITTELS
TEA-COJ-LASERSTRAHLUNG.
.
77
5.5
EINFLUSS
DER
LASERPARAMETER
AUF
DIE
ERZEUGUNG
LEITFAEHIGER
OBERFLAECHEN
.
81
6
CHEMISCHE
METALLISIERUNG
VON
LASERAKTIVIERTEN
OBERFLAECHEN
.
84
6.1
AUSWAHL
EINES
CHEMISCHEN
METALLISIERUNGSSYSTEMS
.
84
6.2
UNTERSUCHUNG
DER
METALLISIERUNGSPARAMETER
.
86
6.3
EINFLUSS
DER
BEARBEITUNGSATMOSPHAERE
AUF
DIE
CU-METALLISIERUNG
.
95
6.4
EINFLUSS
DER
LASERPARAMETER
AUF
DIE
METALLISIERUNG
.
97
6.5
ERZEUGUNG
VON
BONDFAEHIGEN
METALLISIERUNGEN
.
103
7
FOLGERUNGEN
FUER
DIE
PRAXIS
.
110
8
ZUSAMMENFASSUNG
.
113
9
LITERATURVERZEICHNIS
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