Optische Oberflächenmesstechnik für Topografie und Material:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2002
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Fortschritt-Berichte VDI
Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 953 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | VI, 154 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| ISBN: | 3183953080 |
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REIHE 8
MESS-, STEUERUNGS- DR.-ING. ULRICH NEUSCHAEFER-RUBE,
UND REGELUNGSTECHNIK KASSEL
NR. 953 OPTISCHE OBERF LAECHEN-
MESSTECHNIK FUER
TOPOGRAFIE UND MATERIAL
VDI VERLAG
INHALTSVERZEICHNIS _ V
INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG * 1
1. EINLEITUNG 2
1.1 ZUR BEDEUTUNG DER OBERFLAECHENMESSTECHNIK 2
1.2 WICHTIGE OBERFLAECHENKENNGROESSEN ! .?. 4
1.3 TASTENDE OBERFLAECHENMESSTECHNIK - EIN UEBERBLICK 9
1.4 PRINZIPIEN DER OPTISCHEN OBERFLAECHENMESSTECHNIK 12
2. ETABLIERTE OPTISCHE TOPOGRAFIEMESSVERFAHREN 17
2.1 AUTOFOKUSVERFAHREN 17
2.2 LASERTRIANGULATION 22
2.3 KOAXIALES WEISSLICHTVERFAHREN 26
2.4 INTERFEROMETRIE 28
2.4.1 GRUNDPRINZIP . 28
2.4.2 INTERFEROMETER-ANORDNUNGEN ~ 29
2.4.3 HOMODYN-INTERFEROMETRIE 33
2.4.4 ZWEI-WELLENLAENGEN-INTERFEROMETRIE 35
2.4.5 HETERODYN-INTERFEROMETRIE 36
2.4.6 SUPER-HETERODYN-INTERFEROMETRIE 38
2.4.7 WEISSLICHTINTERFEROMETRIE 39
2.5 KONFOKALE MIKROSKOPIE 43
2.6 STREIFENPROJEKTION 47
2.6.1 LICHTSCHNITTVERFAHREN 47
2.6.2 PHASENSHIFTVERFAHREN , 48
2.7 SPECKLE-VERFAHREN 52
2.7.1 SPECKLE-EFFEKT 52
2.7.2 SPECKLE-VERFAHREN ZUR MESSUNG VON OBJEKTVERAENDERUNGEN 53
2.7.3 SPECKLE-VERFAHREN ZUR MESSUNG DER OBERFLAECHENRAUHEIT 58
2.8 STREULICHTVERFAHREN 64
3. OPTISCHE VERFAHREN ZUR MESSUNG VON MATERIALEIGENSCHAFTEN.... 68
3.1 REFLEXIONSELLIPSOMETRIE 68
3.1.1 ELLIPSOMETRISCHER MESSEFFEKT AN EINER UNBESCHICHTETEN OBERFLAECHE
68
3.1.2 ELLIPSOMETRISCHE VERMESSUNG VON SCHICHTSYSTEMEN 71
3.1.3 MESSANORDNUNGEN UND MESSALGORITHMEN 75
3.1.4 ANWENDUNGEN ZUR VERMESSUNG VON TECHNISCHEN OBERFLAECHEN 83
3.2 OPTISCHE SPEKTROSKOPIE ZUR MATERIALIDENTIFIZIERUNG 89
3.2.1 VERFAHREN ZUR OBERFLAECHENVERMESSUNG 89
3.2.2 MESSANORDNUNGEN 90
3.2.3 ANWENDUNGSBEISPIELE 91
3.3 OPTISCHE SPEKTROSKOPIE ZUR VERMESSUNG VON TRANSPARENTEN SCHICHTEN 94
VJ INHALTSVERZEICHNIS
4. POLARISATIONSOPTISCHES VERFAHREN ZUR SIMULTANEN TOPOGRAFIE- UND
MATERIALBESTIMMUNG 97
4.1 MESSPRINZIP 97
4.1.1 BASISEFFEKT 97
4.1.2 KENNGROESSEN EINER BELIEBIG GENEIGTEN OBERFLAECHE 99
4.1.3 VORGEHENSWEISE 100
4.1.4 STRAHLVERLAUF AN DER FOKUSSIEROPTIK 101
4.1.5 ELLIPSOMETRISCHER 8-ZONEN-ALGORITHMUS 103
4.1.6 TOPOGRAFIEBESTIMMUNG AUS ELLIPSOMETRISCHEN MESSDATEN 105
4.1.7 ELLIPSOMETRISCHE MATERIALIDENTIFIZIERUNG 109
4.1.8 MESSFEHLER DURCH STRAHLFOKUSSIERUNG 111
4.2 SCANNENDES MIKROELLIPSOMETER 116
4.2.1 STRUKTUR 116
4.2.2 EIGENSCHAFTEN DER STRAHLFOKUSSIERUNG 117
4.2.3 FUNKTIONSWEISE DER STRAHLVERSATZPLATTE 118
4.2.4 ANISOTROPIEN DER STRAHLTEILER 119
4.2.5 PRINZIP DES AUTOFOKUSSYSTEMS 122
4.2.6 EIGENSCHAFTEN DES POLARISATORS ; . . 124
4.3 MESSERGEBNISSE 126
4.3.1 SIMULTANE MESSUNG VON TOPOGRAFIE UND MATERIAL 126
4.3.2 MESSUNG BEI BEKANNTER TOPOGRAPHIE 127
4.3.3 MESSUNG BEI BEKANNTEM MATERIAL 128
4.4 MOEGLICHE WEITERENTWICKLUNGEN DES VERFAHRENS 129
4.4.1 BILDHAFTE MIKROELLIPSOMETRIE * 129
4.4.2 ALTERNATIVE MESSALGORITHMEN 133
4.4.3 NAHFELDELLIPSOMETRIE 136
4.4.4 VERMESSUNG RAUER OBERFLAECHEN 137
5. SCHLUSSFOLGERUNGEN UND PERSPEKTIVEN 139
5.1 SCHLUSSFOLGERUNGEN 139
5.2 PERSPEKTIVEN IN DER OBERFLAECHENMESSTECHNIK 141
6. LITERATUR 144
6.1 LITERATUR ZU KAPITEL 1 144
6.2 LITERATUR ZU KAPITEL 2 145
6.3 LITERATUR ZU KAPITEL 3 147
6.4 LITERATUR ZU KAPITEL 4 149
6.5 LITERATUR ZU KAPITEL 5 151
7. VERWENDETE FORMELZEICHEN 152
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