Herstellung, Eigenschaften und Anwendung von nanokristallinen hochverschleißfesten elektrochemisch abgeschiedenen Nickel-Wolfram-Schichten:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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2002
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2
INHALTSVERZEICHNIS
1
MOTIVATION
DIESER
ARBEIT.
.
-
.4
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
.
-----------
.
-
.
-
.
6
2.1
SPEZIELLE
EIGENSCHAFTEN
AMORPHER
UND
NANOKRISTALLINER
LEGIERUNGEN
.
6
2.1.1
AMORPHE
MATERIALIEN
.
7
2.1.2
NANOSTRUKTURIERTE
MATERIALIEN
.
8
2.2
DAS
THERMODYNAMISCHE
GLEICHGEWICHTSSYSTEM
NI-W
.
11
2.3
GRUNDLAGEN
DER
NICKEL-WOLFRAM-ABSCHEIDUNG
.
13
3
UNTERSUCHUNGSMETHODEN.
16
3.1
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
16
3.1.1
BEUGUNG
AM
KRISTALLGITTER
.
16
3.1.2
STRUKTURBEDINGTE
PEAKVERBREITERUNG
UND
PEAKVERSCHIEBUNG
.
16
3.1.3
TEXTUR
.
22
3.1.4
MESSMETHODEN
.
22
3.2
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.23
3.2.1
PROBENPRAEPARATION.
24
3.2.2
DAS
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP
(TEM)
.
24
3.2.3
ELEKTRONENBEUGUNG
.
26
3.2.4
ABBILDUNG
MIT
BEUGUNGSKONTRAST
.
26
3.2.5
ATOMARE
HOCHAUFLOESUNG
.27
3.3
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
28
3.4
ELEKTRONENSTRAHLMIKROSONDE
.
30
3.5
NANOINDENTATION
.
32
3.6
AFM-TRIBOSCOPE
.35
3.7
BESTIMMUNG
DER
INNEREN
SPANNUNG
MITTELS
WAFERKRUEMMUNG
.
36
4
GALVANISCHE
ABSCHEIDUNG
DER
NI-W-SCHICHTEN
.
39
4.1
BADZUSAMMENSETZUNG
.
39
4.2
BESCHREIBUNG
DER
GALVANISCHEN
ANLAGE
.
40
4.3
PROZESSPARAMETER
UND
IHRE
UEBERWACHUNG
.
41
4.4
VORBEHANDLUNG
DER
SUBSTRATE
.
42
5
ERGEBNISSE.
.
YYYYYY.YY.44
5.1
CHARAKTERISIERUNG
DER
NI-W
SCHICHTEN
IM
ABGESCHIEDENEN
ZUSTAND
.
44
5.1.1
ABSCHEIDUNG
OHNE
INHIBITOR
.
44
5.1.1.1
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
UND
STRUKTUR
DER
SCHICHTEN
.
44
5.1.1.2
TEXTUR
DER
NICKELMISCHKRISTALLPHASE
.
.48
5.1.
1
.3
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
50
5.1.1.3.1
NANOINDENTATION
-
HAERTE
UND
E-MODUL
.
50
5.1.1.3.2
INNERE
SPANNUNG
.
50
5.1.2
INHIBITOR
SACCHARIN
.
54
5.1.2.1
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
UND
STRUKTUR
DER
SCHICHTEN
.
54
5.1.2.2
NANOINDENTATION
-
HAERTE
UND
E-MODUL
.
57
5.
1
.3
INHIBITOR
ETHOXYBUTINDIOL
.
59
5.1.3.1
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
UND
STRUKTUR
DER
SCHICHTEN
.
59
5.1.3.2
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
62
5.1.3.2.1
NANOINDENTATION
-
HAERTE
UND
E-MODUL
.
62
5.1.3.2.2
INNERE
SPANNUNG
.
63
5.1.4
INHIBITOR
BUTINDIOL
.
64
5.1.4.1
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
UND
STRUKTUR
DER
SCHICHTEN
.
64
5.1.4.2
TEXTUR
DER
NANOKRISTALLINEN
PHASE
.
68
5.1.4.3
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
71
5.1.4.3.
1
NANOINDENTATION
-
HAERTE
UND
E-MODUL
.
7
1
5.1.4.3.2
INNERE
SPANNUNG
.
74
5.1.5
VERGLEICH
DER
EIGENSCHAFTEN
UND
AUSWAHL
EINES
INHIBITORS
.
75
5.1.5.1
VERGLEICH
DER
EIGENSCHAFTEN ALLER
HERGESTELLTEN
SCHICHTEN
.
75
INHALTSVERZEICHNIS
3
5.1.5.2
AUSWAHL
EINES
INHIBITORS
.
82
5.2
WAERMEBEHANDLUNG
DER
MIT
BUTINDIOL
ABGESCHIEDENEN
NI-W-LEGIERUNG
.
83
5.2.1
THERMISCHE
STABILITAET
UND
KORNWACHSTUM
.
83
5.2.2
EINFLUSS
AUF
DIE
TEXTUR
.
86
5.2.3
EINFLUSS
AUF
DIE
HARTE
.
90
5.2.4
EINFLUSS
AUF
DEN
E-MODUL
.
90
5.2.5
EINFLUSS
AUF
DIE
INNERE
SPANNUNG;
THERMISCHER
AUSDEHNUNGSKOEFFIZIENT
.
91
5.3
VERSCHLEISSTESTS
AN
DEN
MIT
BUTINDIOL
ABGESCHIEDENEN
PROBEN
.
93
5.4
ABSCHEIDUNG
AUF
WAFERN
-
NI-W
ALS
WERKSTOFF
FUER
DIE
MIKROTECHNOLOGIE
.
99
5.4.1
AFM
TRIBOSCOPE
-
RAUHEIT
UND
DUKTILITAET
IM
NANOSKALIGEN
BEREICH
.
99
5.4.2
HAERTEMESSUNGEN
AM
AFM-TRIBOSCOPE
.
103
5.4.3
INNERE
SPANNUNG
ALS
FUNKTION
DER
SCHICHTDICKE
.
105
5.4.4
TEXTUR
ALS
FUNKTION
DER
SCHICHTDICKE
.
110
6
DISKUSSION.
113
6.1
VERGLEICH
MIT
ALTERNATIVEN
NI-W-BAEDERN
IN
DER
AKTUELLEN
FORSCHUNG
.
113
6.2
DISKUSSION
DER
THERMISCHE
STABILITAET
DES
OEFLIGES
.
1
15
6.3
DISKUSSION
DER
HAERTE
.
116
6.3.1
EINSTELLUNG
EINES
HAERTEMAXIMUMS
NACH
AUSLAGERUNG
BEI
600
C
.
116
6.3.2
DISKUSSION
DER
HAERTUNGSMECHANISMEN
.
117
6.3.2.1
EINFLUSS
DES
ANTEILS
DER
UNGEORDNETEN
INTERKRISTALLINEN
PHASE
IN
EINEM
NANOKRISTALLINEN
GEFUEGE
(ZWEIPHASEN-MODEL)
.
117
6.3.2.2
MISCHKRISTALLHAERTUNG
.
121
6.3.2.3
WICHTUNG
DER
HAERTUNGSMECHANISMEN
.
124
6.3.3
DISKUSSION
DER
HAERTE
IM
VERGLEICH
MIT
ANDEREN
GALVANISCH
ODER
STROMLOS
ABGESCHIEDENEN
VERSCHLEISSFESTEN
SCHICHTEN
.
125
6.4
DISKUSSION
DE
VERSCHLEISSFESTIGKEIT
.
126
6.4.1
MAKROSKOPISCHE
VERSCHLEISSTESTS
.
1
26
6.4.2
AFM-ANALYSE
.
127
6.5
DISKUSSION
DES
E-MODULS
.
127
6.5.1
EINFLUESSE
AUF
DEN
E-MODUL
NANOKRISTALLINER
GEFUEGE
.
127
6.5.2
ABHAENGIGKEIT
DES
E-MODULS
VON
DER
TEXTUR
.
129
6.6
DISKUSSION
DER
URSACHEN
DER
INNEREN
ZUGSPANNUNG
UND
DER
SPANNUNGSRELAXATION
.
130
6.7
DISKUSSION
DER
KORROSIONSBESTAENDIGKEIT
.
135
6.8
DISKUSSION
POTENTIELLER
ANWENDUNGEN
.
136
6.8.1
VERSCHLEISSFESTE
SCHICHTEN
.
136
6.8.2
ELECTROFORMING-TEILE
FUER
DIE
MIKROSYSTEMTECHNIK
.
138
7
ZUSAMMENFASSUNG
.
140
ANHANG
1:
LITERATURVERZEICHNIS
.
142
ANHANG
2:
VERZEICHNIS
DER
ABKUERZUNGEN
UND
SYMBOLE
.
149
ANHANG
3:
ALTERNATIVE
NI-W-ELEKTROLYTE
IN
DER
MODERNEN
FORSCHUNG
.
152
ANHANG
4:
DANKSAGUNG.
154
ANHANG
5:
LEBENSLAUF
.
155
ANHANG
6:
LISTE
DER
WISSENSCHAFTLICHEN
PUBLIKATIONEN
.
MM
.
M
.
156 |
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| spelling | Auerswald, Janko 1972- Verfasser (DE-588)123820588 aut Herstellung, Eigenschaften und Anwendung von nanokristallinen hochverschleißfesten elektrochemisch abgeschiedenen Nickel-Wolfram-Schichten vorgelegt von Janko Auerswald 2002 156 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Ulm, Univ., Diss., 2002 Nickellegierung - Wolframlegierung - Nanostrukturiertes Material - Galvanische Abscheidung - Ferromagnetische Legierung - Metallisches Glas Galvanische Abscheidung (DE-588)4316091-8 gnd rswk-swf Nanostrukturiertes Material (DE-588)4342626-8 gnd rswk-swf Ferromagnetische Legierung (DE-588)4154130-3 gnd rswk-swf Wolframlegierung (DE-588)4190222-1 gnd rswk-swf Nickellegierung (DE-588)4135870-3 gnd rswk-swf Metallisches Glas (DE-588)4038893-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Nickellegierung (DE-588)4135870-3 s Wolframlegierung (DE-588)4190222-1 s Nanostrukturiertes Material (DE-588)4342626-8 s Galvanische Abscheidung (DE-588)4316091-8 s Ferromagnetische Legierung (DE-588)4154130-3 s Metallisches Glas (DE-588)4038893-1 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009935700&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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