Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten: mit 19 Tabellen
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| Format: | Book |
|---|---|
| Language: | German |
| Published: |
Leipzig
Dt. Verl. für Grundstoffindustrie
[2001]
[Weinheim] Wiley-VCH |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | 2. Verl. eingeklebt. - Literaturverz. S. 205 - 213 |
| Physical Description: | 216 S. Ill., graph. Darst. : 25 cm |
| ISBN: | 3527309543 3342006498 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINFUEHRUNG
.
11
1.1.
BEANSPRUCHUNGEN
VON
FESTKOERPEROBERFLAECHEN
.
12
1.2.
OBERFLAECHENTECHNIK
UND
PLASMA-BESCHICHTUNGSVERFAHREN
FUER
HARTE
SCHUTZ
SCHICHTEN
.
12
1.3.
VERBUND
HARTSTOFFSCHICHT
-
SUBSTRAT
.
19
2.
TECHNISCHE
UND
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
DER
PLASMA-BESCHICH
TUNGSVERFAHREN
.
22
2.1.
VAKUUM
.
22
2.2.
GASENTLADUNGEN
.
28
2.3.
TEILCHENSTROM
UND
SCHICHTWACHSTUM
.
33
2.3.1.
TEILCHENSTROM
.
34
2.3.2.
ENERGIE
UND
IMPULSEINWIRKUNGEN
AUF
FESTKOERPEROBERFLAECHEN
.
35
2.3.3.
CHEMISCHE
EFFEKTE
.
38
2.3.4.
SCHICHTBILDUNGSRATE
VON
AUFTRAGSSCHICHTEN
.
38
2.3.5.
KOMPLEXE
ERSCHEINUNGEN
.
39
2.4.
BILDUNG,
MORPHOLOGIE
UND
STRUKTUR
VON
AUFTRAGSSCHICHTEN
.
41
2.4.1.
CHEMISCHE
REAKTIVITAET
.
42
2.4.2.
WACHSTUMSSTADIEN
BEI
DER
SCHICHTBILDUNG
VON
AUFTRAGSSCHICHTEN
.
47
2.4.3.
WIRKUNGEN
HOCHENERGETISCHER
TEILCHENSTROEME
AUF
DIE
SCHICHTBILDUNG
.
48
2.4.3.1.
WACHSTUMSMODEN
UND
MORPHOLOGIE-ZONENMODELLE
.
51
2.4.3.2.
ORDNUNGSGRAD
UND
DEFEKTGENERATION
.
57
2.4.4.
UEBERGANGSZONE
.
59
3.
PLASMA-BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
61
3.1.
PLASMAGESTUETZTE
BEDAMPFUNG
.
64
3.1.1.
ELEKTRONENSTRAHLVERDAMPFER
MIT
ZUSATZIONISIERUNG
.
67
3.1.2.
HOHLKATODENBOGEN-VERDAMPFER
.
71
3.1.3.
BESCHICHTUNGEN
AUS
DEM
PLASMA
EINER
VAKUUMBOGEN-ENTLADUNG
.
80
3.1.4.
NIEDERVOLTBOGEN-BESCHICHTUNG
.
89
3.2.
BESCHICHTUNGEN
DURCH
ZERSTAEUBEN
VON
FESTSTOFFEN
.
91
3.2.1.
GRUNDLAGEN
DER
FESTSTOFFZERSTAEUBUNG
.
91
3.2.2.
TECHNISCHE
AUSFUEHRUNG
VON
ZERSTAEUBUNGSEINRICHTUNGEN
.
93
3.2.2.1.
DC-DIODENZERSTAEUBUNG
.
94
3.2.2.2.
TRIODENZERSTAEUBUNG
.
95
3.2.2.3.
DC-HOCHRATEZERSTAEUBUNG
.
96
3.2.2.4.
HF-ZERSTAEUBUNG
.
97
3.2.3.
REAKTIVE
ZERSTAEUBUNG
.
97
3.2.4.
ZERSTAEUBUNGSEINRICHTUNGEN
FUER
DIE
PLASMAAKTIVIERTE
SCHICHTABSCHEIDUNG
98
3.3.
PLASMAGESTUETZTE
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
MIT
NUR
GASFOERMIGEN
AUSGANGSSUB
STANZEN
100
3.3.1.
PLASMADECOMPOSITION
ZUR
ABSCHEIDUNG
VON
I-C-SCHICHTEN
.
100
3.3.2.
PLASMAGESTUETZTE
CHEMISCHE
ABSCHEIDUNG
AUS
DER
DAMPFPHASE
.
106
3.3.3.
PLASMAGESTUETZTE
THERMOCHEMISCHE
WAERMEBEHANDLUNG
.
111
3.3.3.1.
PLASMANITRIEREN
.
113
3.3.3.2.
PLASMAAUFKOHLUNG
.
120
3.3.4.
IONENIMPLANTATION
.
125
3.4.
KOMBINATIONEN
VON
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
133
4.
TECHNISCHER
AUFBAU
VON
INDUSTRIELLEN
PLASMA-BESCHICHTUNGSANLAGEN
136
4.1.
PRINZIPIELLER
AUFBAU
DER
ANLAGEN
.
136
4.1.1.
STROM
UND
MEDIENVERSORGUNG
.
139
4.1.2.
VAKUUMSYSTEM
.
140
4.1.3.
ARBEITSKAMMER
MIT
TEILCHEN
UND
PLASMAQUELLEN
.
141
4.1.4.
SUBSTRATHANDHABUNGSSYSTEME
UND
SUBSTRATHEIZUNG
.
142
4.2.
SPEZIELLE
ANLAGENKONZEPTE
.
146
4.2.1.
LABORBESCHICHTUNGSANLAGEN
.
146
4.2.2.
EINKAMMERANLAGEN
FUER
KLEIN
UND
GROSSTEILBESCHICHTUNGEN
.
146
4.2.3.
DURCHLAUFANLAGEN
.
148
5.
PROZESSKONTROLLE
BEI
DER
BESCHICHTUNG
.
150
5.1.
GASEINLASSSYSTEM
.
150
5.2.
TRANSPORT
UND
PLASMARAUM
.
152
5.2.1.
MASSENSPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
153
5.2.2.
OPTISCHE
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
156
5.2.3.
DIAGNOSTIK
MITTELS
ELEKTRISCHER
SONDEN
.
158
5.3.
SCHICHTBILDUNGSBEREICH
.
159
5.3.1.
SUBSTRATSTROMDICHTE
.
159
5.3.2.
SCHICHTAUFWACHSRATE
.
161
5.3.3.
TEMPERATUR-ZEIT-VERLAEUFE
DER
SUBSTRATE
.
162
5.3.4.
MODELLIERUNG
VON
TEMPERATUR-ZEIT-VERLAEUFEN
.
163
6.
EIGENSCHAFTEN
DER
HARTSTOFFSCHICHT-SUBSTRAT-VERBUNDE
.
170
6.1.
SCHICHTDICKENMESSUNGEN
.
170
6.2.
FESTKOERPERPHYSIKALISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
174
6.3.
HAERTE
.
177
8
6.4.
VERBUNDFESTIGKEIT
.
179
6.5.
SCHICHTEIGENSPANNUNGEN
.
181
6.6.
WEITERE
MECHANISCHE
KENNGROESSEN
DES
SCHICHT-SUBSTRAT-VERBUNDES
.
182
6.7.
TRIBOLOGISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
183
6.8.
KORROSIONSVERHALTEN
.
187
6.9.
DEKORATIVE
EIGENSCHAFTEN
.
188
7.
INDUSTRIELLE
ANWENDUNGEN
.
189
7.1.
AUSGEWAEHLTE
ASPEKTE
DER
WERKZEUGBESCHICHTUNG
.
191
7.2.
BAUTEILBESCHICHTUNGEN
.
200
8.
ZUR
WEITERENTWICKLUNG
DER
ABSCHEIDEVERFAHREN
UND
SCHICHTMATE
RIALIEN
202
LITERATURVERZEICHNIS
.
205
SACHWOERTERVERZEICHNIS
.
214
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| spelling | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten mit 19 Tabellen von Bernd Rother und Jörg Vetter. [Autoren: B. Beister ...] Leipzig Dt. Verl. für Grundstoffindustrie [2001] [Weinheim] Wiley-VCH 216 S. Ill., graph. Darst. : 25 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier 2. Verl. eingeklebt. - Literaturverz. S. 205 - 213 Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd rswk-swf Plasma (DE-588)4046249-3 gnd rswk-swf Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd rswk-swf Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 gnd rswk-swf Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd rswk-swf Beschichten (DE-588)4005996-0 s Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 s Hartstoff (DE-588)4023555-5 s Beschichtung (DE-588)4144863-7 s 1\p DE-604 Plasma (DE-588)4046249-3 s 2\p DE-604 Rother, Bernd 1953-2016 Sonstige (DE-588)110781341 oth Vetter, Jörg Sonstige oth DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009916790&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
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