Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten: mit 19 Tabellen
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Leipzig
Dt. Verl. für Grundstoffindustrie
[2001]
[Weinheim] Wiley-VCH |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 2. Verl. eingeklebt. - Literaturverz. S. 205 - 213 |
| Beschreibung: | 216 S. Ill., graph. Darst. : 25 cm |
| ISBN: | 3527309543 3342006498 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV014586845 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 020723s2001 gw ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 964735997 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3527309543 |c (WileyVCH) Pp. : EUR 59.00 |9 3-527-30954-3 | ||
| 020 | |a 3342006498 |c (Dt. Verl. für Grundstoffindustrie) Pp. |9 3-342-00649-8 | ||
| 035 | |a (OCoLC)634757384 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV014586845 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-703 | ||
| 084 | |a ZM 7680 |0 (DE-625)160562: |2 rvk | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten |b mit 19 Tabellen |c von Bernd Rother und Jörg Vetter. [Autoren: B. Beister ...] |
| 264 | 1 | |a Leipzig |b Dt. Verl. für Grundstoffindustrie |c [2001] | |
| 264 | 1 | |a [Weinheim] |b Wiley-VCH | |
| 300 | |a 216 S. |b Ill., graph. Darst. : 25 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a 2. Verl. eingeklebt. - Literaturverz. S. 205 - 213 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasma |0 (DE-588)4046249-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmatechnik |0 (DE-588)4140353-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Beschichten |0 (DE-588)4005996-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Beschichten |0 (DE-588)4005996-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Plasmatechnik |0 (DE-588)4140353-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |D s |
| 689 | 0 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Plasma |0 (DE-588)4046249-3 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |D s |
| 689 | 1 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Rother, Bernd |d 1953-2016 |e Sonstige |0 (DE-588)110781341 |4 oth | |
| 700 | 1 | |a Vetter, Jörg |e Sonstige |4 oth | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009916790&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009916790 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1808227200079495168 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINFUEHRUNG
.
11
1.1.
BEANSPRUCHUNGEN
VON
FESTKOERPEROBERFLAECHEN
.
12
1.2.
OBERFLAECHENTECHNIK
UND
PLASMA-BESCHICHTUNGSVERFAHREN
FUER
HARTE
SCHUTZ
SCHICHTEN
.
12
1.3.
VERBUND
HARTSTOFFSCHICHT
-
SUBSTRAT
.
19
2.
TECHNISCHE
UND
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
DER
PLASMA-BESCHICH
TUNGSVERFAHREN
.
22
2.1.
VAKUUM
.
22
2.2.
GASENTLADUNGEN
.
28
2.3.
TEILCHENSTROM
UND
SCHICHTWACHSTUM
.
33
2.3.1.
TEILCHENSTROM
.
34
2.3.2.
ENERGIE
UND
IMPULSEINWIRKUNGEN
AUF
FESTKOERPEROBERFLAECHEN
.
35
2.3.3.
CHEMISCHE
EFFEKTE
.
38
2.3.4.
SCHICHTBILDUNGSRATE
VON
AUFTRAGSSCHICHTEN
.
38
2.3.5.
KOMPLEXE
ERSCHEINUNGEN
.
39
2.4.
BILDUNG,
MORPHOLOGIE
UND
STRUKTUR
VON
AUFTRAGSSCHICHTEN
.
41
2.4.1.
CHEMISCHE
REAKTIVITAET
.
42
2.4.2.
WACHSTUMSSTADIEN
BEI
DER
SCHICHTBILDUNG
VON
AUFTRAGSSCHICHTEN
.
47
2.4.3.
WIRKUNGEN
HOCHENERGETISCHER
TEILCHENSTROEME
AUF
DIE
SCHICHTBILDUNG
.
48
2.4.3.1.
WACHSTUMSMODEN
UND
MORPHOLOGIE-ZONENMODELLE
.
51
2.4.3.2.
ORDNUNGSGRAD
UND
DEFEKTGENERATION
.
57
2.4.4.
UEBERGANGSZONE
.
59
3.
PLASMA-BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
61
3.1.
PLASMAGESTUETZTE
BEDAMPFUNG
.
64
3.1.1.
ELEKTRONENSTRAHLVERDAMPFER
MIT
ZUSATZIONISIERUNG
.
67
3.1.2.
HOHLKATODENBOGEN-VERDAMPFER
.
71
3.1.3.
BESCHICHTUNGEN
AUS
DEM
PLASMA
EINER
VAKUUMBOGEN-ENTLADUNG
.
80
3.1.4.
NIEDERVOLTBOGEN-BESCHICHTUNG
.
89
3.2.
BESCHICHTUNGEN
DURCH
ZERSTAEUBEN
VON
FESTSTOFFEN
.
91
3.2.1.
GRUNDLAGEN
DER
FESTSTOFFZERSTAEUBUNG
.
91
3.2.2.
TECHNISCHE
AUSFUEHRUNG
VON
ZERSTAEUBUNGSEINRICHTUNGEN
.
93
3.2.2.1.
DC-DIODENZERSTAEUBUNG
.
94
3.2.2.2.
TRIODENZERSTAEUBUNG
.
95
3.2.2.3.
DC-HOCHRATEZERSTAEUBUNG
.
96
3.2.2.4.
HF-ZERSTAEUBUNG
.
97
3.2.3.
REAKTIVE
ZERSTAEUBUNG
.
97
3.2.4.
ZERSTAEUBUNGSEINRICHTUNGEN
FUER
DIE
PLASMAAKTIVIERTE
SCHICHTABSCHEIDUNG
98
3.3.
PLASMAGESTUETZTE
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
MIT
NUR
GASFOERMIGEN
AUSGANGSSUB
STANZEN
100
3.3.1.
PLASMADECOMPOSITION
ZUR
ABSCHEIDUNG
VON
I-C-SCHICHTEN
.
100
3.3.2.
PLASMAGESTUETZTE
CHEMISCHE
ABSCHEIDUNG
AUS
DER
DAMPFPHASE
.
106
3.3.3.
PLASMAGESTUETZTE
THERMOCHEMISCHE
WAERMEBEHANDLUNG
.
111
3.3.3.1.
PLASMANITRIEREN
.
113
3.3.3.2.
PLASMAAUFKOHLUNG
.
120
3.3.4.
IONENIMPLANTATION
.
125
3.4.
KOMBINATIONEN
VON
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
133
4.
TECHNISCHER
AUFBAU
VON
INDUSTRIELLEN
PLASMA-BESCHICHTUNGSANLAGEN
136
4.1.
PRINZIPIELLER
AUFBAU
DER
ANLAGEN
.
136
4.1.1.
STROM
UND
MEDIENVERSORGUNG
.
139
4.1.2.
VAKUUMSYSTEM
.
140
4.1.3.
ARBEITSKAMMER
MIT
TEILCHEN
UND
PLASMAQUELLEN
.
141
4.1.4.
SUBSTRATHANDHABUNGSSYSTEME
UND
SUBSTRATHEIZUNG
.
142
4.2.
SPEZIELLE
ANLAGENKONZEPTE
.
146
4.2.1.
LABORBESCHICHTUNGSANLAGEN
.
146
4.2.2.
EINKAMMERANLAGEN
FUER
KLEIN
UND
GROSSTEILBESCHICHTUNGEN
.
146
4.2.3.
DURCHLAUFANLAGEN
.
148
5.
PROZESSKONTROLLE
BEI
DER
BESCHICHTUNG
.
150
5.1.
GASEINLASSSYSTEM
.
150
5.2.
TRANSPORT
UND
PLASMARAUM
.
152
5.2.1.
MASSENSPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
153
5.2.2.
OPTISCHE
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
156
5.2.3.
DIAGNOSTIK
MITTELS
ELEKTRISCHER
SONDEN
.
158
5.3.
SCHICHTBILDUNGSBEREICH
.
159
5.3.1.
SUBSTRATSTROMDICHTE
.
159
5.3.2.
SCHICHTAUFWACHSRATE
.
161
5.3.3.
TEMPERATUR-ZEIT-VERLAEUFE
DER
SUBSTRATE
.
162
5.3.4.
MODELLIERUNG
VON
TEMPERATUR-ZEIT-VERLAEUFEN
.
163
6.
EIGENSCHAFTEN
DER
HARTSTOFFSCHICHT-SUBSTRAT-VERBUNDE
.
170
6.1.
SCHICHTDICKENMESSUNGEN
.
170
6.2.
FESTKOERPERPHYSIKALISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
174
6.3.
HAERTE
.
177
8
6.4.
VERBUNDFESTIGKEIT
.
179
6.5.
SCHICHTEIGENSPANNUNGEN
.
181
6.6.
WEITERE
MECHANISCHE
KENNGROESSEN
DES
SCHICHT-SUBSTRAT-VERBUNDES
.
182
6.7.
TRIBOLOGISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
183
6.8.
KORROSIONSVERHALTEN
.
187
6.9.
DEKORATIVE
EIGENSCHAFTEN
.
188
7.
INDUSTRIELLE
ANWENDUNGEN
.
189
7.1.
AUSGEWAEHLTE
ASPEKTE
DER
WERKZEUGBESCHICHTUNG
.
191
7.2.
BAUTEILBESCHICHTUNGEN
.
200
8.
ZUR
WEITERENTWICKLUNG
DER
ABSCHEIDEVERFAHREN
UND
SCHICHTMATE
RIALIEN
202
LITERATURVERZEICHNIS
.
205
SACHWOERTERVERZEICHNIS
.
214
9 |
| any_adam_object | 1 |
| author_GND | (DE-588)110781341 |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV014586845 |
| classification_rvk | ZM 7680 |
| ctrlnum | (OCoLC)634757384 (DE-599)BVBBV014586845 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV014586845</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">020723s2001 gw ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">964735997</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3527309543</subfield><subfield code="c">(WileyVCH) Pp. : EUR 59.00</subfield><subfield code="9">3-527-30954-3</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3342006498</subfield><subfield code="c">(Dt. Verl. für Grundstoffindustrie) Pp.</subfield><subfield code="9">3-342-00649-8</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)634757384</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV014586845</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-703</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7680</subfield><subfield code="0">(DE-625)160562:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten</subfield><subfield code="b">mit 19 Tabellen</subfield><subfield code="c">von Bernd Rother und Jörg Vetter. [Autoren: B. Beister ...]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Leipzig</subfield><subfield code="b">Dt. Verl. für Grundstoffindustrie</subfield><subfield code="c">[2001]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">[Weinheim]</subfield><subfield code="b">Wiley-VCH</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">216 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst. : 25 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">2. Verl. eingeklebt. - Literaturverz. S. 205 - 213</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmatechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140353-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005996-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Beschichten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005996-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Plasmatechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140353-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Rother, Bernd</subfield><subfield code="d">1953-2016</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)110781341</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Vetter, Jörg</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009916790&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009916790</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV014586845 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-24T00:37:18Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3527309543 3342006498 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009916790 |
| oclc_num | 634757384 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-703 |
| owner_facet | DE-703 |
| physical | 216 S. Ill., graph. Darst. : 25 cm |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| publisher | Dt. Verl. für Grundstoffindustrie Wiley-VCH |
| record_format | marc |
| spelling | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten mit 19 Tabellen von Bernd Rother und Jörg Vetter. [Autoren: B. Beister ...] Leipzig Dt. Verl. für Grundstoffindustrie [2001] [Weinheim] Wiley-VCH 216 S. Ill., graph. Darst. : 25 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier 2. Verl. eingeklebt. - Literaturverz. S. 205 - 213 Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd rswk-swf Plasma (DE-588)4046249-3 gnd rswk-swf Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd rswk-swf Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 gnd rswk-swf Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd rswk-swf Beschichten (DE-588)4005996-0 s Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 s Hartstoff (DE-588)4023555-5 s Beschichtung (DE-588)4144863-7 s 1\p DE-604 Plasma (DE-588)4046249-3 s 2\p DE-604 Rother, Bernd 1953-2016 Sonstige (DE-588)110781341 oth Vetter, Jörg Sonstige oth DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009916790&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten mit 19 Tabellen Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Plasma (DE-588)4046249-3 gnd Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 gnd Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4144863-7 (DE-588)4046249-3 (DE-588)4023555-5 (DE-588)4140353-8 (DE-588)4005996-0 |
| title | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten mit 19 Tabellen |
| title_auth | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten mit 19 Tabellen |
| title_exact_search | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten mit 19 Tabellen |
| title_full | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten mit 19 Tabellen von Bernd Rother und Jörg Vetter. [Autoren: B. Beister ...] |
| title_fullStr | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten mit 19 Tabellen von Bernd Rother und Jörg Vetter. [Autoren: B. Beister ...] |
| title_full_unstemmed | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten mit 19 Tabellen von Bernd Rother und Jörg Vetter. [Autoren: B. Beister ...] |
| title_short | Plasmabeschichtungsverfahren und Hartstoffschichten |
| title_sort | plasmabeschichtungsverfahren und hartstoffschichten mit 19 tabellen |
| title_sub | mit 19 Tabellen |
| topic | Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Plasma (DE-588)4046249-3 gnd Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 gnd Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd |
| topic_facet | Beschichtung Plasma Hartstoff Plasmatechnik Beschichten |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009916790&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT rotherbernd plasmabeschichtungsverfahrenundhartstoffschichtenmit19tabellen AT vetterjorg plasmabeschichtungsverfahrenundhartstoffschichtenmit19tabellen |