Itsumi, M. (2002). SiO 2 in Si microdevices: With 25 tables. Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Itsumi, Manabu. SiO 2 in Si Microdevices: With 25 Tables. Berlin [u.a.]: Springer, 2002.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Itsumi, Manabu. SiO 2 in Si Microdevices: With 25 Tables. Springer, 2002.
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