APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Jaeger, R. C. (2002). Introduction to microelectronic fabrication (2. ed.). Prentice Hall.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Jaeger, Richard C. Introduction to Microelectronic Fabrication. 2. ed. Upper Saddle River, N.J: Prentice Hall, 2002.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Jaeger, Richard C. Introduction to Microelectronic Fabrication. 2. ed. Prentice Hall, 2002.