Entwicklung und Charakterisierung eines integrierten kapazitiven Hochtemperaturdrucksensors:
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|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2002
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Fortschritt-Berichte VDI
Reihe 9, Elektrotechnik, Elektronik ; 349 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | IX, 112 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
1.1
MOTIVATION
.
1
1.2
ZIELSETZUNG
.
3
2
DRUCKSENSOREN
FUER
HOCHTEMPERATURANWENDUNGEN
4
2.1
PIEZOELEKTRISCHE
HOCHTEMPERATURDRUCKSENSOREN
.
4
2.2
FASEROPTISCHE
HOCHTEMPERATURDRUCKSENSOREN
.
5
2.3
HALBLEITERBASIERTE
HOCHTEMPERATURDRUCKSENSOREN
.
6
3
OBERFLAECHENMIKROMECHANISCHER
DRUCKSENSOR
AUF
SIMOX-SUBSTRAT
12
3.1
DRUCKSENSORKONZEPT
.
12
3.2
HERSTELLUNGSPROZESS
.
15
3.3
DRUCKSENSORLAYOUT
.
20
4
AUFBAU
UND
VERBINDUNGSTECHNIK
24
4.1
CHIPVERBINDUNG
.
24
4.2
DRAHTKONTAKTIERUNG
.
27
4.3
VERKAPSELUNG
.
29
4.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
32
5
CHARAKTERISIERUNG
DES
DRUCKSENSORS
33
5.1
MESSTECHNIK
.
33
5.2
PARASITAERE
ELEMENTE
.
37
5.3
DRUCKABHAENGIGKEITEN
.
39
5.4
TEMPERATURABHAENGIGKEITEN
.
42
5.5
EINFLUSS
DER
VERKAPSELUNG
.
44
5.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
46
6
CHARAKTERISIERUNG
DER
MEMBRANSCHICHTEN
48
6.1
PROBENVARIATION
.
48
6.2
CHARAKTERISIERUNG
VON
DUENNEN
SCHICHTEN
MIT
HILFE
DER
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
49
6.3
CHARAKTERISIERUNG
VON
DUENNEN
SCHICHTEN
MIT
HILFE
DER
DRUCKABHAENGIGEN
MEM
BRANDURCHBIEGUNG
.
55
6.4
ERGEBNISSE
AUS
DER
UNTERSUCHUNG
DER
KRISTALLSTRUKTUR
.
62
6.5
ERGEBNISSE
DER
DRUCKABHAENGIGEN
MEMBRANDURCHBIEGUNG
.
67
6.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
74
VI
7
SIMULATION
DES
DRUCKSENSORS
MIT
DER
FINITE
ELEMENTE
METHODE
76
7.1
PRINZIP
DER
FINITE
ELEMENTE
METHODE
.
77
7.2
SIMULATIONSDURCHFUEHRUNG
.
78
7.3
SIMULATION
DER
DRUCKABHAENGIGKEITEN
.
81
7.4
SIMULATION
DER
EIGENSPANNUNG
.
84
7.5
SIMULATION
VON
HERSTELLUNGSTOLERANZEN
.
86
7.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
88
8
INTEGRATION
EINER
HOCHTEMPERATURFAEHIGEN
CMOS-AUSLESE-SCHALTUNG
89
8.1
PRINZIP
DER
HOCHTEMPERATURFAEHIGEN
CMOS-TECHNOLOGIE
.
89
8.2
HERSTELLUNGSPROZESS
DES
INTEGRIERTEN
DRUCKSENSORS
.
91
8.3
AUSLESESCHALTUNG
.
94
8.4
MESSTECHNISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
98
8.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
102
9
ZUSAMMENFASSUNG
103
LITERATUR
106 |
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