Laserstrahlunterstützte Erzeugung metallischer Leiterstrukturen auf Thermoplastsubstraten für die MID-Technik:
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
STAND
DER
TECHNIK
.
5
2.1
LEITERSTRUKTURERZEUGUNG
DURCH
LASERSTRAHLINDUZIERTEN
MATERIALABTRAG
.
5
2.1.1
DIREKTE
LEITERSTRUKTURERZEUGUNG
DURCH
SELEKTIVES
ABTRAGEN
DES
LEI
TERMATERIALS
.
7
2.1.2
INDIREKTE
LEITERSTRUKTURERZEUGUNG
DURCH
SELEKTIVES
ABTRAGEN
VON
HILFSSTOFFEN
.
9
2.1.3
FAZIT
.
13
2.2
LEITERSTRUKTURERZEUGUNG
DURCH
LASERSTRAHLINDUZIERTEN
MATERIALAUFTRAG
.
14
2.2.1
FESTE
MATERIALQUELLE
.
14
2.2.2
FLUESSIGE
MATERIALQUELLE
.
15
2.2.3
GASFOERMIGE
MATERIALQUELLE
.
17
2.2.4
FAZIT
.
18
2.3
LEITERSTRUKTURERZEUGUNG
DURCH
LASERSTRAHLINDUZIERTE
MATERIALUMWANDLUNG
.
18
2.3.1
DIREKTE
LEITERSTRUKTURERZEUGUNG
DURCH
MATERIALUMWANDLUNG
.
19
2.3.2
INDIREKTE
LEITERSTRUKTURERZEUGUNG
DURCH
MATERIALUMWANDLUNG
VON
HILFSSTOFFEN
.
22
2.3.3
FAZIT
.
27
2.4
SYSTEMTECHNIK
FUER
DIE
LASERSTRAHLSTRUKTURIERUNG
.
27
VIII
INHALTSVERZEICHNIS
2.4.1
MASKENVERFAHREN
.
27
2.4.2
SCAN
VERFAHREN
.
28
2.4.3
FAZIT
.
32
3
ZIELSETZUNG
.
33
4
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
SYSTEMTECHNIK
.
35
4.1
ANFORDERUNGEN
AN
SYSTEME
ZUR
LASERSTRAHLSTRUKTURIERUNG
VON
3D-MIDS
.
.
35
4.2
KONZEPTION
EINES
3D-STRAHLABLENKUNGSMODULS
.
39
4.2.1
ANPASSUNG
DER
FOKUSLAGE
.
39
4.2.2
KORREKTUR
DER
FELDVERZERRUNG
IM
RAUM
.
46
4.3
VERSUCHSEINRICHTUNGEN
.
55
4.3.1
EXPERIMENTELLE
STRUKTURIERUNGSMASCHINE
FUER
RAEUMLICHE
SCHALTUNGS
TRAEGER
.
55
4.3.2
VERWENDETE
STRAHLQUELLEN
.
57
4.3.3
REALISIERTE
3D-STRAHLABLENKUNGSEINHEIT
.
61
4.3.4
STEUERUNGSTECHNISCHE
REALISIERUNG
.
63
4.3.5
KORREKTUR
DER
REALEN
FELDVERZERRUNG
.
64
4.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
SYSTEMTECHNIK
.
72
5
SELEKTIVE
LASERSTRAHLAKTIVIERUNG
.
73
5.1
ANFORDERUNGEN
UND
LOESUNGSWEGE
.
73
5.2
GRUNDIDEE
EINES
NEUEN
LASERSTRAHLAKTIVIERUNGSVERFAHRENS
.
77
5.3
HERSTELLUNG
UND
CHARAKTERISIERUNG
DES
VERSUCHSMATERIALS
.
79
5.3.1
HERSTELLUNG
DES
VERSUCHSMATERIALS
.
79
5.3.2
CHARAKTERISIERUNG
DES
VERSUCHSMATERIALS
.
87
5.4
LASERSTRAHLAKTIVIERUNG
MIT
DEM
CO2-LASER
.
92
INHALTSVERZEICHNIS
IX
5.5
LASERSTRAHLAKTIVIERUNG
MIT
FREQUENZVERDOPPELTEM
ND:YAG-LASER
.
97
5.6
LASERSTRAHLAKTIVIERUNG
MIT
DEM
ND:YAG-LASER
.
99
5.7
VERMEIDUNG
VON
FREMDABSCHEIDUNGEN
.
107
5.8
PHAENOMENOLOGISCHES
PROZESSMODELL
.
113
6
APPLIKATIONSBEISPIELE
.
121
6.1
SENSOREINHEIT
EINES
OELSTANDSSENSORS
.
121
6.2
ERSTIMPULSUNTERDRUECKUNGS-SCHALTUNG
.
124
7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
127
ANHANG
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