Untersuchung des Transportes plasmaerzeugter Radikale durch enge Aperturen und deren Wechselwirkung mit einem Festkörper:
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2001
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
III
1
ERZEUGUNG
DER
REAKTIVEN
TEILCHEN
1
1.1
DIE
MIKROWELLEN-PLASMAQUELLE
.
1
1.2
DIE
OPTIMIERUNG
DER
PLASMAQUELLE
.
2
1.2.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
2
1.2.2
SILIZIUM-AETZEN
.
6
1.2.3
POLYMER-AETZEN
.
9
1.2.4
BERECHNUNG
DES
DISSOZIATIONSGRADES
.
11
1.3
ERZEUGUNG
EINES
HOCHAUFLOESENDEN
NEUTRALTEILCHENSTRAHLS
.
15
2
VERLUSTMECHANISMEN
ATOMARER
NEUTRALTEILCHEN
19
2.1
VOLUMENREKOMBINATION
.
19
2.2
WANDVERLUSTE
.
21
2.2.1
PHYSISORPTION
.
21
2.2.2
BEDECKUNGSGRAD
NACH
LANGMUIR
.
23
2.2.3
OBERFLAECHENDIFFUSION
.
25
2.2.4
CHEMISORPTION
.
27
2.2.5
MECHANISMEN
DER
OBERFLAECHENREKOMBINATION
.
28
2.3
VERLUSTE
IN
LANGEN
ZYLINDRISCHEN
ROEHREN
.
30
2.3.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
33
2.3.2
MESSERGEBNISSE
.
36
2.3.3
DISKUSSION
.
38
3
RADIKALREAKTIONEN
MIT
EINEM
FESTKOERPER
43
3.1
IDENTIFIKATION
DER
AETZENDEN
TEILCHEN
.
43
3.1.1
IONEN
.
43
3.1.2
PLASMASTRAHLUNG
.
44
3.1.3
MOLEKUELE
.
46
3.1.4
ATOME
.
51
3.2
ZUSAMMENFASSUNG
DER
MIKROSKOPISCHEN
AETZPROZESSE
.
52
II
INHALTSVERZEICHNIS
3.3
AETZEN
UNTER
REALEN
BEDINGUNGEN
.
56
3.4
SUBSTRATTEMPERATUR
.
57
3.4.1
MESSUNGEN
AN
GROSSEN
STRUKTUREN
.
57
3.4.2
TEMPERATURMODELL
FUER
KLEINE
STRUKTUREN
.
60
4
MIKROSTRUKTURIERUNG
67
4.1
HERSTELLUNG
DER
MIKRO
UND
NANOAPERTUREN
.
67
4.2
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
72
4.3
HOCHAUFLOESENDE
AETZUNGEN
.
77
4.4
STRUKTURIERUNG
UND
IN
SITU
ABBILDUNG
.
83
5
SIMULATIONSRECHNUNGEN
89
5.1
DAS
SIMULATIONSVERFAHREN
.
89
5.1.1
PHYSIKALISCHE
ANNAHMEN
.
89
5.1.2
NUMERISCHE
METHODEN
.
91
5.1.3
PROGRAMMABLAUF
.
95
5.2
STROEMUNGSBERECHNUNGEN
.
96
5.2.1
STROEMUNG
OHNE
VERLUSTE
.
96
5.2.2
STROEMUNG
MIT
VERLUSTEN
.
101
5.3
GEOMETRISCHES
AETZMODELL
.
104
5.3.1
VERBREITERUNGSMECHANISMEN
.
106
5.3.2
ABSTANDSABHAENGIGKEIT
DER
AETZRATE
.
109
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
113
LITERATURVERZEICHNIS
116 |
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