Plasmaaktivierte Abscheidung harter amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten bei verschiedenen Anregungsfrequenzen:
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| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2002
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Fortschritt-Berichte VDI
Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 651 |
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V
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
WACHSTUMSMODELLE
.
2
2.1
PLASMAMODELLE
FUER
METHAN
.
3
2.2
WACHSTUM
DER
KOHLENSTOFFWASSERSTOFF-SCHICHTEN
.
5
2.2.1
OBERFLAECHENPROZESSE
.
6
2.2.2
WACHSTUMSSCHICHT
.
8
2-4
WACHSTUMSRATE
UND
RADIKALTEILCHENSTROM
.
12
3
LONENBEWEGUNG
IN
EINER
GASENTLADUNG
.
14
3.1
PLASMARANDSCHICHT
.
14
3.2
FREQUENZEINFLUSS
.
17
3.3
LONENBEWEGUNG
IN
EINER
WECHSELSPANNUNGSENTLADUNG
.
21
3.4
RANDSCHICHTPOTENTIALE
UND
ELEKTRODENFLAECHEN.
22
3.4.1
KAPAZITIVE
KOPPLUNG
.
25
3.4.2
DIREKTE
KOPPLUNG
.
26
3.5
BREITE
DER
PLASMARANDSCHICHT.
27
3.7
LONENENERGIE
.
30
3.6
LONENSTROMDICHTE
.
33
4
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
37
5
HERSTELLUNG
DER SCHICHTEN
.
40
6
MASSENSPEKTROSKOPIE
MITTELS
CHEMISCHER
IONISATION.
41
6.1
AUFBAU
UND
MESSUNG
.
41
7
MESSUNG
DER
ULTRAMIKROHAERTE
UND
DES
ELASTIZITAETSMODULS.
46
8
EXPERIMENTE
ZUR
SCHICHTABSCHEIDUNG.
48
8.1
LEISTUNGSVARIATION
VON
ARGON-METHAN-ENTLADUNGEN
.
49
8.1.1
SPANNUNG,
STROM
UND
LEISTUNG
BEI
VERSCHIEDENEN
FREQUENZEN
.
49
8.1.2
WACHSTUMSRATE,
HAERTE
UND
TEILCHENSTROEME
.
54
8.2
LEISTUNGSVARIATION
UND
ERHOEHUNG
DES
PARTIALDRUCKES
DES
METHANS
.
61
8.3
METHAN-GASFLUSSVARIATION
.
67
VI
8.3.1
WACHSTUMSRATE,
HAERTE
UND
TEILCHENSTROEME
.
68
8.4
DRUCKVARIATION
BEI
HOHER
LEISTUNG
.
75
8.4.1
WACHSTUMSRATE,
HAERTE
UND
TEILCHENSTROEME
.
76
9
SCHICHTSTRUKTUR
UND
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
85
9.1
ELASTIZITAETSMODUL
.
86
9.2
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
DER
OBERFLAECHEN
.
87
9.3
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
AN
BRUCHKANTEN
.
89
9.4
WASSERSTOFFGEHALT
.
89
9.5
DICHTE.
92
9.6
BINDUNGSVERHAELTNISSE
.93
9.7
EINFLUSS
DER
SCHICHTSTRUKTUR
AUF
DIE
ULTRAMIKROHAERTE.
97
10
TRIBOLOGISCHE
UNTERSUCHUNGEN.
98
10.1
REIBUNG
.
98
10.2
ABRASIVVERSCHLEISS
.
100
11
WACHSTUMSRATE
UND
ULTRAMIKROHAERTE.
102
12
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
104
LITERATURVERZEICHNIS.
108 |
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