APA (7th ed.) Citation

Dimer, M. (2002). Plasmaaktivierte Abscheidung harter amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten bei verschiedenen Anregungsfrequenzen (Als Ms. gedr.). VDI-Verl.

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Dimer, Martin. Plasmaaktivierte Abscheidung Harter Amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten Bei Verschiedenen Anregungsfrequenzen. Als Ms. gedr. Düsseldorf: VDI-Verl, 2002.

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Dimer, Martin. Plasmaaktivierte Abscheidung Harter Amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten Bei Verschiedenen Anregungsfrequenzen. Als Ms. gedr. VDI-Verl, 2002.