MOVPE von (AlGaIn)P unter dem Trägergas Stickstoff für LED-Strukturen:
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| Published: |
Jülich
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
2001
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3909 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
DIE
LEUCHTDIODE
3
2.1
ENTWICKLUNG
.
3
2.2
PHYSIKALISCHE
VORGAENGE
IN
DER
LED
.
5
2.2.1
BESCHREIBUNG
DER
VERWENDETEN
LED-STRUKTUR
.
11
2.3
DAS
MATERIALSYSTEM
ALGALNP
.
12
3
HERSTELLUNG
UND
CHARAKTERISIERUNG
15
3.1
METALLORGANISCHE
GASPHASENEPITAXIE
.
15
3.2
CHARAKTERISIERUNG
.
28
3.2.1
OPTISCHE
MIKROSKOPIE
.
28
3.2.2
HOCHAUFLOESENDE
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
(HRXRD)
.
30
3.2.3
PHOTOLUMINESZENZ
(PL)
.
33
3.2.4
HALL-EFFEKT
.
38
3.2.5
ELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
41
4
WARUM
STICKSTOFF?
45
4.1
ENTWICKLUNG
.
45
4.2
MODELLIERUNG
.
50
INHALTSVERZEICHNIS
V
4.2.1
GRUNDSAETZLICHE
PROBLEME
.
50
4.2.2
EIN
KURZER
BLICK
INS
COMPUTERMODELL
.
53
4.3
VERGLEICH
MODELLIERUNG
-
EXPERIMENT
.
56
4.3.1
TEMPERATURVERTEILUNG
.
56
4.3.2
MATERIAL
UND
WACHSTUMSRATENVERTEILUNG
.
58
4.4
FAZIT
.
63
5
GRUNDLAGEN
DES
ORDNUNGSEFFEKTS
65
5.1
KRISTALLGITTER
.
65
5.2
AUSWIRKUNGEN
DER
CUPTSS-ORDNUNG
AUF
DIE
BANDSTRUKTUR
.
67
5.3
ABLAEUFE
AUF
ATOMARER
EBENE
.
69
5.3.1
THERMODYNAMISCHE
UEBERLEGUNGEN
.
70
5.3.2
DIE
MIKROSTRUKTUR
.
72
5.4
ORDNUNG
IN
ALGALNP
.
80
5.5
STICKSTOFF
.
81
6
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
ORDNUNGSEFFEKT
83
6.1
YYWASSERSTOFFDOTIERUNG
"
.
83
6.2
ERGEBNISSE.
.
_
.
85
6.2.1
ROENTGEN
.
85
6.2.2
PL-MESSUNGEN
.
87
6.2.3
FAZIT
.
92
7
HERSTELLUNG
VON
LED-STRUKTUREN
95
7.0.4
BESCHREIBUNG
DER
LED-STRUKTUR
.
95
7.1
EPITAXIE
VON
(ALOJGAO^O^HIO^GP
.
99
7.2
N-DOTIERUNG
(AL
0I7
GAO,3)O,52LNO,48P
.
104
VI
INHALTSVERZEICHNIS
7.3
EPITAXIE
DER
KOMPLETTEN
LED-STRUKTUR
.
105
7.4
ERSTE
MESSUNGEN
AN
DEN
LED-SCHICHTEN
.
108
7.5
OPTIMIERUNGSANSAETZE
.
109
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
111
LITERATURVERZEICHNIS
119
ANHANG
119
A
REFLEXIONSANISOTROPIE-SPEKTROSKOPIE(RAS)
120
B
KORREKTURTABELLEN
123
DANKSAGUNG
125 |
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